拉普拉斯新能源科技股份有限公司毛文龙获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利反应炉以及加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223892858U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520521319.2,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型反应炉以及加工设备是由毛文龙;熊贤明;喻明辉;万林设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应炉以及加工设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种反应炉以及加工设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了反应炉漏气会导致硼原子无法掺杂进硅片中的技术问题。该反应炉包括:炉管组件,炉管组件的第一开口与反应腔连通;第一法兰组件,与炉管组件的具有第一开口的一端连接,第一法兰组件具有第一气体通道和第二开口,保护气体能够通过第一气体通道,以在第一开口处形成气帘;第二法兰组件,与第一法兰组件连接,第二法兰组件具有第二气体通道和第三开口;炉门,能够与第二法兰组件连接,被配置为封闭第三开口。通过这种结构,可以在炉管组件泄漏时,向第一气体通道通入保护气体,保护气体能够形成保护气层,阻止氧气分子与产品接触。
本实用新型反应炉以及加工设备在权利要求书中公布了:1.一种反应炉,其特征在于,包括: 炉管组件,沿第一方向延伸,所述炉管组件具有反应腔,且所述炉管组件的第四端面具有第一开口,所述第一开口与所述反应腔连通,所述反应腔能够容纳产品; 第一法兰组件,沿所述第一方向位于所述炉管组件具有所述第一开口的一侧,并与所述炉管组件的具有所述第一开口的一端连接,所述第一法兰组件具有第一气体通道和第二开口,所述第一气体通道与所述第一开口连通,所述第一气体通道具有第一出气孔,所述第一出气孔位于所述第一法兰组件靠近所述炉管组件的第一端面,所述第二开口与所述第一开口连通,保护气体能够通过所述第一气体通道,并由所述第一出气孔排出,以在所述第一开口处形成气帘; 第二法兰组件,位于所述第一法兰组件远离所述炉管组件的一侧,并与所述第一法兰组件连接,所述第二法兰组件具有第二气体通道和第三开口,所述第三开口与所述第二开口连通,所述第二气体通道通过所述第二开口与所述第一开口连通,工艺气体能够通过所述第二气体通道、所述第二开口与所述第一开口进入所述反应腔,所述保护气体不与所述工艺气体和所述产品反应; 炉门,能够与所述第二法兰组件连接,被配置为封闭所述第三开口,所述气帘被配置为限制由所述第三开口泄露的氧气通过所述第一开口进入所述反应腔。
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