东部超导科技(苏州)有限公司沈玉军获国家专利权
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龙图腾网获悉东部超导科技(苏州)有限公司申请的专利一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223892854U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520054062.4，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器是由沈玉军;周国山;包颖;张国栋设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及超导膜制备技术领域，本实用新型要解决的技术问题是蒸发速率低，温度不均匀。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器。本实用新型包括：筒体内部设有密封腔体；蒸发器底座设于密封腔体的底部；蒸发器底座包括底座本体以及设于底座本体上表面的多个叠置层；多个叠置层依次叠置；自下至上，多个叠置层的外壁在密封腔体底部的投影依次减小；叠置层的外壁为圆弧形；加热组件包括的多个第一加热件设于底座本体中；第二加热件设于筒体上；温度检测组件设于密封腔体中，用于实时监测密封腔体的温度；控制组件与温度检测组件、加热组件电性连接。本实用新型大大提高蒸发速率，温度更均匀。
本实用新型一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器在权利要求书中公布了：1.一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器，其特征在于：包括： 筒体，内部设有密封腔体； 蒸发器底座，设于所述密封腔体的底部；所述蒸发器底座包括底座本体以及设于所述底座本体上表面的多个叠置层；多个所述叠置层自下至上依次叠置；自下至上，多个所述叠置层的外壁在所述密封腔体底部的投影依次减小；所述叠置层的外壁为圆弧形； 加热组件，包括多个第一加热件以及第二加热件；多个所述第一加热件设于所述底座本体中；所述第二加热件设于所述筒体上； 温度检测组件，设于所述密封腔体中，用于实时监测所述密封腔体的温度； 控制组件，与所述温度检测组件以及所述加热组件电性连接。
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