深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司李学文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种真空反应腔及边缘式镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223892852U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520105390.2,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种真空反应腔及边缘式镀膜设备是由李学文;刘兵吉;廖凯;陈琦设计研发完成,并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空反应腔及边缘式镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空反应腔及边缘式镀膜设备,包括设有开口的腔体,该开口设有第一炉门法兰,还包括组成炉门机构的控制结构、支撑底座和炉门本体;控制结构的输出端连接有支撑底座,支撑底座顶部的两侧设有炉门承载板,炉门承载板与炉门本体连接,炉门本体能通过控制结构与第一炉门法兰匹配贴合;支撑底座对应炉门承载板的位置均水平设有至少一个水平调节装置和垂直设有至少一个垂直调节装置。本实用新型通过水平调节装置和垂直调节装置在水平方向和垂直方向上调节炉门本体相对第一炉门法兰的位置,来调节炉门本体与第一炉门法兰的平行度,使炉门本体能与第一炉门法兰紧密贴合,使真空反应腔获得理想的真空度,提高其钝化镀膜处理效果。
本实用新型一种真空反应腔及边缘式镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种真空反应腔,包括设有开口的腔体1,所述开口设有第一炉门法兰;其特征在于,还包括炉门机构,所述炉门机构包括控制结构22、支撑底座23和炉门本体24; 所述控制结构22的输出端连接有支撑底座23,所述支撑底座23顶部的两侧设有炉门承载板25,所述炉门承载板25与所述炉门本体24连接,所述炉门本体24能通过所述控制结构22与所述第一炉门法兰匹配贴合; 所述支撑底座23对应所述炉门承载板25的位置均水平设有至少一个水平调节装置28,所述水平调节装置28用于调节所述炉门本体24的水平位置; 所述支撑底座23对应所述炉门承载板25的位置均垂直设有至少一个垂直调节装置29,所述垂直调节装置29用于调节所述炉门本体24的垂直位置。
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