嘉祥洪润电碳有限公司张鲁飞获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉祥洪润电碳有限公司申请的专利一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223892851U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520250347.5，技术领域涉及：C23C16/32；该实用新型一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘是由张鲁飞;胡善发;赵圣尧;张德港;常庆峰设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘，主要涉及化学气相沉积碳化硅涂层载盘技术领域。一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘，包括载盘本体，所述载盘本体底面开设数个均匀分布的卡槽，所述载盘本体下方设有支撑底座，所述支撑底座顶面开设数个均匀分布的条形凹槽。本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过支撑底座与支撑卡块的配合，能够对载盘本体进行支撑，提高了载盘本体的支撑稳定性，便于支撑与拿取；同时通过调节装置的调节，能够调整支撑卡块的位置，从而满足不同大小的载盘本体的支撑需求，提高了本装置的适用性；在套杆与套筒的配合下，能够调整支撑卡块的高度，从而调整支撑高度，给使用带来方便。
本实用新型一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘在权利要求书中公布了：1.一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘，包括载盘本体1，其特征在于：所述载盘本体1底面开设数个均匀分布的卡槽2，所述载盘本体1下方设有支撑底座3，所述支撑底座3顶面开设数个均匀分布的条形凹槽4，每条所述条形凹槽4内均设有调节装置，每个所述调节装置上均安装套筒5，每根所述套筒5内均滑动设有套杆6，每根所述套杆6顶端均安装支撑卡块7，每块所述支撑卡块7均能卡入对应的卡槽2内，每根所述套筒5上均安装锁紧螺栓8，每根所述锁紧螺栓8一端均能够与对应的套杆6抵触连接。
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