深圳市捷佳芯创科技有限责任公司何文娟获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳芯创科技有限责任公司申请的专利一种镀膜设备工件传输结构及应用其的真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223892847U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520116196.4,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型一种镀膜设备工件传输结构及应用其的真空镀膜设备是由何文娟;向清山;金晶磊设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜设备工件传输结构及应用其的真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种镀膜设备工件传输结构及应用其的真空镀膜设备,其中镀膜设备工件传输结构包括传输装置,用于驱动托架靠近或远离镀膜工位运动,托架设有定位孔;限位装置,用于在托架抵达镀膜工位时将托架限制于镀膜工位;旋转装置,设于镀膜工位上方,用于驱动对接件旋转;工件架,其底部设有与定位孔配合的连接件,工件架周侧间隔设置若干工件悬挂结构;对位结构,设于工件架顶部;顶升装置,设于镀膜工位下方,用于驱动工件架升降运动以使工件架脱离托架。当顶升装置将工件架顶起至脱离托架并与旋转装置对接时,旋转装置可驱动工件架旋转运动,工件架的连接件与托架对应设置的限位结构可避免顶升过程因工件架或托架移位造成工件架回位失效。
本实用新型一种镀膜设备工件传输结构及应用其的真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜设备工件传输结构,包括传输装置1,用于驱动托架2靠近或远离镀膜工位B运动,其特征在于,所述托架2设有定位孔21,所述镀膜设备工件传输结构还包括: 限位装置6,用于在所述托架2抵达所述镀膜工位B时将托架2限制于镀膜工位B上; 旋转装置5,设于所述镀膜工位B上方; 工件架3,该工件架3的底部设有与所述定位孔21相配合的连接件,所述工件架3周侧间隔设置若干用于悬挂目标工件7的工件悬挂结构31;对位结构32,设于工件架3顶部; 顶升装置4,设于所述镀膜工位B下方,用于驱动工件架3升降运动,以将所述工件架3从定位孔21顶起并脱离或回位于所述托架2; 当顶升装置4将工件架3顶起至脱离托架并使所述对位结构32与旋转装置5相对接时,旋转装置5可驱动工件架3旋转。
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