广东万顺科技有限公司杜成城获国家专利权
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龙图腾网获悉广东万顺科技有限公司申请的专利一种用于镀膜腔室的改进型观察窗获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223892846U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520428580.8,技术领域涉及:C23C14/52;该实用新型一种用于镀膜腔室的改进型观察窗是由杜成城;邱佩菲;李功军;江旭文设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于镀膜腔室的改进型观察窗在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于镀膜腔室的改进型观察窗,包括观察窗主体及安装到观察窗主体上的旋转频闪单元;观察窗主体,包括主壳体与窗口单元,主壳体在其上形成有观察位与频闪位;窗口单元安装到观察位上,其包括将主壳体贯通的窗框法兰及一前一后的安装到窗框法兰内的防辐射金属网与铅玻璃片,能够透过防辐射金属网与铅玻璃片,从观察位向镀膜腔室内观察;旋转频闪单元,包括设置在频闪位外部面的频闪驱动电机及设置在频闪位内部面的频闪转盘,频闪驱动电机的驱动轴与频闪转盘相连,以频闪驱动电机带动频闪转盘旋转,且窗口单元位于频闪转盘的旋转范围内,频闪转盘上沿直径方向开设有观察狭缝。本实用新型能将镀膜物质与辐射光阻拦。
本实用新型一种用于镀膜腔室的改进型观察窗在权利要求书中公布了:1.一种用于镀膜腔室的改进型观察窗,其特征在于:包括安装到镀膜腔室的外部室墙上的观察窗主体10及安装到观察窗主体10上的旋转频闪单元30; 所述观察窗主体10能够相对镀膜腔室开关,包括主壳体11与窗口单元12,所述主壳体11在其上形成有观察位101与频闪位102;所述窗口单元12安装到观察位101上,其包括将主壳体11贯通的窗框法兰121及一前一后的安装到窗框法兰121内的防辐射金属网122与铅玻璃片123,能够透过防辐射金属网122与铅玻璃片123,从观察位101向镀膜腔室内观察; 所述旋转频闪单元30,包括设置在频闪位102外部面的频闪驱动电机31及设置在频闪位102内部面的频闪转盘32,频闪驱动电机31的驱动轴与频闪转盘32相连,以频闪驱动电机31带动频闪转盘32旋转,且窗口单元12位于频闪转盘32的旋转范围内,频闪转盘32上沿直径方向开设有观察狭缝321,供随频闪转盘32的旋转,能够以观察狭缝321对镀膜腔室内观察,及通过频闪转盘32将镀膜物质与辐射光阻拦。
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