无锡宜恰高技术有限公司费珂获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡宜恰高技术有限公司申请的专利一种模块组合静电卡盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223891984U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520615241.0，技术领域涉及：B65G49/06；该实用新型一种模块组合静电卡盘结构是由费珂设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种模块组合静电卡盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种模块组合静电卡盘结构，包括基板，所述基板顶部安装有套筒，所述套筒顶端固定有加热器，所述加热器底面通过粘接层与基板顶面连接，所述加热器顶部固定有电极，所述电极上安装有陶瓷圆盘，所述基板底部边缘开设有安装孔，所述基板底部中心开设有安装槽，所述安装槽内设置有散热板，所述散热板边缘通过锁定螺栓与安装槽连接固定，所述安装槽内壁顶部固定有插条，所述插条与插槽内壁贴合。该模块组合静电卡盘结构，采用新型的结构设计，不仅令加热器、电极和陶瓷圆盘整体能够与基板分离，而且散热机构能够与基板便捷拆卸分离，方便散热机构的清理，也不会对其余机构造成损伤，提高清理效率，降低清理难度。
本实用新型一种模块组合静电卡盘结构在权利要求书中公布了：1.一种模块组合静电卡盘结构，包括基板1，其特征在于：所述基板1顶部安装有套筒2，所述套筒2顶端固定有加热器3，所述加热器3底面通过粘接层4与基板1顶面连接，所述加热器3顶部固定有电极5，所述电极5上安装有陶瓷圆盘6，所述基板1底部边缘开设有安装孔7，所述基板1底部中心开设有安装槽8，所述安装槽8内设置有散热板9，所述散热板9边缘通过锁定螺栓10与安装槽8连接固定，所述安装槽8内壁顶部固定有插条11，所述插条11与插槽12内壁贴合，所述插槽12开设在散热板9顶部，所述散热板9底面中心开设有进液孔13，所述进液孔13与散热流道14连通，所述散热流道14开设在散热板9内，所述散热流道14侧面设置有引导流道15。
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