麦斯克电子材料股份有限公司贾波获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种晶圆边缘快速抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223889713U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520394793.3，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种晶圆边缘快速抛光装置是由贾波;郭光灿;侯鹏鹏;李建刚设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘快速抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及抛光装置技术领域，公开了一种晶圆边缘快速抛光装置，旨在解决现有技术中晶圆边缘抛光时定位效果不佳及抛光碎屑难以收集的问题。该装置包括支撑筒，其上端设有放置晶圆的网环与固定组件，下端为集尘空腔；支撑筒上设有导向组件、转动组件和抛光组件。通过启动电机调节抛光板位置，使其贴合不同直径的晶圆边缘，利用电机驱动齿轮沿齿环运动实现抛光板的移动抛光。此外，设置抽气组件，在抛光过程中启动抽气扇，经阻隔网阻挡后将碎屑收集至集尘空腔内，避免环境污染及对晶圆造成损害。本实用新型不仅提高了抛光效率，还能有效收集抛光碎屑，确保了操作环境的清洁度和晶圆的安全性。
本实用新型一种晶圆边缘快速抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘快速抛光装置，包括支撑筒1，其特征在于，所述支撑筒1为中空结构，其上端开口处设置有用于放置晶圆的网环3，下端设有用于容纳晶圆碎屑的集尘空腔，所述网环3上方还设有固定组件7，固定组件7一端与所述网环3中心相对应，另一端固定在支撑筒1侧壁上，所述支撑筒1上端环状表面设有导向组件9，导向组件9上设有若干组转动组件5，在每一个转动组件5上均设有用于对晶圆边缘抛光的抛光组件6。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦斯克电子材料股份有限公司，其通讯地址为：471031 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励