和舰芯片制造(苏州)股份有限公司陈露获国家专利权
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龙图腾网获悉和舰芯片制造(苏州)股份有限公司申请的专利一种防止氟逸出的抽气装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223888679U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520069295.1,技术领域涉及:B08B15/04;该实用新型一种防止氟逸出的抽气装置是由陈露;杨春辉;周辉设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止氟逸出的抽气装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种防止氟逸出的抽气装置,其包括支撑架、底板、盖板和垂帘,支撑架竖直设置于机台的排气口上方,盖板和底板分别设置于支撑架的上下表面;底板的中部设置有用于与排气口可拆卸连接的第一开口,盖板的中部设置有用于与排气管道的一端可拆卸连接的第二开口,排气管道的另一端与厂务端的尾气入口可拆卸连接;垂帘的一端设置于支撑架上表面的边缘,另一端沿着支撑架上表面的边缘向下延伸展开。本实用新型与机台的排气口连接,侧面设置有具有配重的内外垂帘,尾端与厂务端连接,实施本方案后,将极大地提升抽气装置对反应腔中氟离子逸散的抽气能力,有助于减少氟离子在环境中的逸散量,降低其对环境和产品的不良影响。
本实用新型一种防止氟逸出的抽气装置在权利要求书中公布了:1.一种防止氟逸出的抽气装置,其特征在于,包括支撑架、底板、盖板和垂帘, 所述支撑架竖直设置于机台的排气口上方,所述盖板和底板分别设置于所述支撑架的上下表面; 所述底板的中部设置有用于与所述排气口可拆卸连接的第一开口,所述盖板的中部设置有用于与排气管道的一端可拆卸连接的第二开口,所述排气管道的另一端与厂务端的尾气入口可拆卸连接; 所述垂帘的一端设置于所述支撑架上表面的边缘,另一端沿着所述支撑架上表面的边缘在重力的作用下自由向下延伸展开。
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