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江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种半导体容器清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223888654U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520289775.9,技术领域涉及:B08B9/22;该实用新型一种半导体容器清洗装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体容器清洗装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种半导体容器清洗装置,半导体容器包括具有开口的盒体和能够将开口封闭的盖体,清洗装置包括装载架和真空排气组件,盒体开口朝下以倒扣放置在装载架上的形式浸入清洗液中,其中,当盒体浸入清洗液中时,盒体具有与清洗液之间形成气腔的第一状态、以及被清洗液完全填充的第二状态;真空排气组件包括第一排气管、真空发生器、第二排气管,气腔内的气体能够经由真空排气组件抽吸并排出,以使得盒体自第一状态转换至第二状态;采用真空抽吸的手段对气腔内的气体进行抽吸排气,在真空负压的作用下,能够保证气体被完全排出,具有更好的排气效果,改善了半导体容器的清洗效果。

本实用新型一种半导体容器清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体容器清洗装置,其特征在于,所述半导体容器包括具有开口的盒体11和能够将所述开口封闭的盖体12,所述清洗装置包括: 装载架2,所述盒体11开口朝下以倒扣放置在所述装载架2上的形式浸入清洗液中,其中,当所述盒体11浸入所述清洗液中时,所述盒体11具有与所述清洗液之间形成气腔的第一状态、以及被所述清洗液完全填充的第二状态; 真空排气组件3,包括第一排气管31、真空发生器32、第二排气管33,所述第一排气管31能够在所述盒体11的所述第一状态下与所述气腔相连通;所述第一排气管31、所述第二排气管33分别与所述真空发生器32相连通,在所述真空发生器32的作用下,所述气腔内的气体能够经由所述第一排气管31被抽吸,并通过所述第二排气管33排出,以使得所述盒体11自所述第一状态转换至所述第二状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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