山东华翊电子科技有限公司覃曦锐获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华翊电子科技有限公司申请的专利一种清洗效果好的半导体材料制备用清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223888606U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520110121.5，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种清洗效果好的半导体材料制备用清洗装置是由覃曦锐设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗效果好的半导体材料制备用清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，尤其为一种清洗效果好的半导体材料制备用清洗装置，包括清洗槽以及设置在搅拌机构，在所述清洗槽的外侧面顶端固定有注水法兰接管、底面固定有排水法兰接管，还包括载料机构和动力机构，且所述载料机构包括：半导体托盘，在所述半导体托盘上加工有多个呈线性阵列分布的放置槽，且在每个所述放置槽内均加工有透水孔；盖板，所述盖板铰接于所述半导体托盘，且在所述盖板上加工有透水口；本实用新型中，通过载料机构承载待清洗的半导体器件，能够同时对多个半导体进行清洗，并且在清洗时无需等清洗水完全停止，可利用搅拌机构搅动清洗水，使清洗水产生震荡，有利于冲掉半导体上的杂质，提升了清洗效率。
本实用新型一种清洗效果好的半导体材料制备用清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗效果好的半导体材料制备用清洗装置，包括清洗槽1以及设置在所述清洗槽1内用于对清洗水进行搅拌的搅拌机构4，在所述清洗槽1的外侧面顶端固定有注水法兰接管11、底面固定有排水法兰接管12，其特征在于，还包括载料机构2和动力机构3，所述载料机构2被可移动地设置于所述清洗槽1内，所述动力机构3用于驱动所述载料机构2移动，且所述载料机构2包括： 半导体托盘21，在所述半导体托盘21上加工有多个呈线性阵列分布的放置槽211，且在每个所述放置槽211内均加工有透水孔212； 盖板22，所述盖板22铰接于所述半导体托盘21，且在所述盖板22上加工有透水口221。
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