江西兆驰半导体有限公司胡加辉获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种蓝宝石衬底清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223888600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520292297.7，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型一种蓝宝石衬底清洗装置是由胡加辉;金从龙;顾伟设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蓝宝石衬底清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种蓝宝石衬底清洗装置，涉及半导体制造技术领域。蓝宝石衬底清洗装置包括清洗槽、电解装置和过滤器，电解装置的输出端和过滤器的输入端连接，过滤器的输出端和清洗槽的输入端连接，清洗槽的输出端和电解装置的回流端连接；电解装置用于对原始清洗液和使用后清洗液进行电解，使原始清洗液和使用后清洗液分别形成电解清洗液；原始清洗液为硫酸溶液或SPM溶液，使用后清洗液为电解清洗液对待清洗蓝宝石衬底进行清洗后得到的溶液；过滤器用于对电解装置中形成的电解清洗液进行过滤。本实用新型的蓝宝石衬底清洗装置，能够延长清洗液的使用寿命，并且在对蓝宝石衬底进行清洗时可无需进行加热，进而可以减少废液的排放和降低能耗。
本实用新型一种蓝宝石衬底清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种蓝宝石衬底清洗装置，其特征在于，包括清洗槽、电解装置和过滤器； 所述电解装置用于对原始清洗液和使用后清洗液进行电解，使所述原始清洗液和所述使用后清洗液分别形成电解清洗液；所述原始清洗液为硫酸溶液或SPM溶液，所述使用后清洗液为所述电解清洗液对待清洗蓝宝石衬底进行清洗后得到的溶液； 所述电解装置的输出端和所述过滤器的输入端连接，所述过滤器的输出端和所述清洗槽的输入端连接，使所述电解装置中形成的电解清洗液流入至所述清洗槽中，所述过滤器用于对所述电解装置中形成的电解清洗液进行过滤；所述清洗槽的输出端和所述电解装置的回流端连接，使所述使用后清洗液流入至所述电解装置中。
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