浙江创芯集成电路有限公司张一帆获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223888567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423061969.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆清洗装置及半导体制造设备是由张一帆;杨波;杨小龙;张耀轩;陈少伟;崔元正设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆清洗装置及半导体制造设备，所述晶圆清洗装置包括：供液端，所述供液端包括供给氧化处理水的第一供液端，以及供给纯水的第二供液端；输液管道，所述输液管道包括连接第一供液端且用于输送氧化处理水的第一输液管道，以及连接第二供液端的且用于输送纯水的第二输液管道；喷嘴，所述喷嘴连接所述第一输液管道和第二输液管道，且用于喷射氧化处理水或纯水；管路切换装置，设置于所述第一输液管道、第二输液管道和所述喷嘴的连接处，且用于将其中一个输液管道切换为输出状态与所述喷嘴连通。本申请实施例提供的晶圆清洗装置可以避免清洗液残留分解产生的液滴对下一片晶圆进行工艺时造成污染，提高产品的良率。
本实用新型一种晶圆清洗装置及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 供液端，所述供液端包括供给氧化处理水的第一供液端，以及供给纯水的第二供液端； 输液管道，所述输液管道包括连接第一供液端且用于输送氧化处理水的第一输液管道，以及连接第二供液端的且用于输送纯水的第二输液管道； 喷嘴，所述喷嘴连接所述第一输液管道和第二输液管道，且用于喷射氧化处理水或纯水； 管路切换装置，设置于所述第一输液管道、第二输液管道和所述喷嘴的连接处，且用于将其中一个输液管道切换为输出状态与所述喷嘴连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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