江苏科沛达半导体科技有限公司李继忠获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏科沛达半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆双面刷洗机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223888528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422920434.5，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种晶圆双面刷洗机构是由李继忠;李述周设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆双面刷洗机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，具体涉及一种晶圆双面刷洗机构。其包括机架，机架包括底板及设置于底板上的防护罩；支撑装置包括至少三个旋转支撑单元，多个旋转支撑单元分为相对设置的两组，旋转支撑单元的输出端伸入防护罩中，用于夹持晶圆的外边缘；刷洗装置包括设置在两组旋转支撑单元之间的两组刷洗头，及驱动刷洗头的第一驱动单元，第一驱动单元位于防护罩外部，用于驱动间隔设置于晶圆两面的刷洗头相互靠近或远离。本实用新型用于解决晶圆清洗效率低的问题。利用支撑装置中的多个旋转支撑单元夹住晶圆的边缘，再在晶圆的上下两面分别配置刷洗头，同时对晶圆两面进行清洁，效率提高，一次完成双面刷洗。
本实用新型一种晶圆双面刷洗机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆双面刷洗机构，其特征在于，包括： 机架，其包括底板及设置于所述底板上的防护罩； 支撑装置，其包括至少三个旋转支撑单元，多个所述旋转支撑单元分为相对设置的两组，所述旋转支撑单元的输出端伸入所述防护罩中，用于夹持晶圆的外边缘； 刷洗装置，其包括设置在两组所述旋转支撑单元之间的两组刷洗头，及驱动所述刷洗头的第一驱动单元，所述第一驱动单元位于所述防护罩外部，用于驱动间隔设置于所述晶圆两面的所述刷洗头相互靠近或远离； 所述刷洗头包括： 固定板，所述固定板一端与所述第一驱动单元的输出端连接，另一端伸入所述防护罩中； 刷辊，转动连接于所述固定板上； 喷嘴，安装于所述固定板上，所述喷嘴的出口朝向所述刷辊与所述晶圆的接触处； 所述第一驱动单元包括： 支架，设置于所述防护罩外部的所述底板上； 第一双头驱动缸，安装于所述支架上，两所述刷洗头的固定板与所述第一双头驱动缸的两滑台固定连接。
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