大连诺豪联恒电子科技有限公司林延春获国家专利权
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龙图腾网获悉大连诺豪联恒电子科技有限公司申请的专利一种PECVD气液分离器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223887684U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520218613.6，技术领域涉及：B01D50/20；该实用新型一种PECVD气液分离器是由林延春;关宏远;姚昕雨设计研发完成，并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD气液分离器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及PECVD技术领域，具体涉及一种PECVD气液分离器，包括筒体，所述筒体的外壁上插接有进气管，所述筒体的顶端壁上设有上盖，所述上盖的顶端壁上设有排气管，所述筒体的底端壁上设有底板，所述底板的外壁贯穿开设有多个排液孔，所述底板的顶端壁中部设有顶座，所述底板的底端壁中部设有电机，所述顶座的外壁上通过轴承转动连接有转杆，且转杆的底端通过联轴器与电机的输出端固定连接，所述转杆的顶端壁上设有圆板。本实用新型的PECVD气液分离器采用离心力与滤筒摩擦协同作用的独特工作原理，对气液混合物实现高效分离，确保进入真空泵和反应腔室的气体纯净度，从而显著提升薄膜沉积的均匀性和质量，减少薄膜缺陷和孔洞的出现，提高产品合格率。
本实用新型一种PECVD气液分离器在权利要求书中公布了：1.一种PECVD气液分离器，其特征在于：包括筒体1， 所述筒体1的外壁上插接有进气管2，所述筒体1的顶端壁上设有上盖3，所述上盖3的顶端壁上设有排气管4，所述筒体1的底端壁上设有底板5，所述底板5的外壁贯穿开设有多个排液孔6，所述底板5的顶端壁中部设有顶座7，所述底板5的底端壁中部设有电机8，所述顶座7的外壁上通过轴承转动连接有转杆9，且转杆9的底端通过联轴器与电机8的输出端固定连接，所述转杆9的顶端壁上设有圆板10，所述圆板10的顶端壁中部设有圆杆11，所述圆板10和圆杆11的外壁之间设有多个叶片12，所述底板5的顶端壁上设有圆筒13，所述底板5的顶端壁上设有滤筒14，所述滤筒14置于圆筒13内，所述圆板10置于滤筒14内，所述底板5的底端壁上设有液体收集装置。
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