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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种套刻标记、光罩组件及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121300017B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511870482.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种套刻标记、光罩组件及检测方法是由张仁伟;金鑫;张祥平设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种套刻标记、光罩组件及检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种套刻标记、光罩组件及检测方法，具体涉及半导体领域。所述套刻标记包括第一标记图案和第二标记图案，其中，第一标记图案包括第一拼接图案和第一面内图案，第一面内图案设置在第一拼接图案的一侧；第二标记图案包括第二拼接图案和第二面内图案，第二面内图案设置在第二拼接图案的一侧；第一标记图案与第二标记图案拼接时，第一拼接图案与第二拼接图案形成交叉区，且第一拼接图案与第二拼接图案在第一方向和第二方向上均具有重叠区域；第一面内图案位于第二拼接图案的夹角区域内，第二面内图案位于第一拼接图案的夹角区域内。本发明采用量测工具可以一次性量出所有计算OVL所需要的CD尺寸，提高套刻精度的检测效率。

本发明授权一种套刻标记、光罩组件及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种套刻标记，其特征在于，包括： 第一标记图案，包括第一拼接图案和第一面内图案，所述第一面内图案设置在所述第一拼接图案的一侧； 第二标记图案，包括第二拼接图案和第二面内图案，所述第二面内图案设置在所述第二拼接图案的一侧； 其中，所述第一标记图案与所述第二标记图案拼接时，所述第一拼接图案与所述第二拼接图案形成交叉区，且所述第一拼接图案与所述第二拼接图案在第一方向和第二方向上均具有重叠区域；所述第一面内图案位于第二拼接图案的夹角区域内，所述第二面内图案位于所述第一拼接图案的夹角区域内； 所述第一拼接图案包括沿第一方向延伸的第一图形和沿第二方向延伸的第二图形，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一面内图案设置在所述第一图形和所述第二图形的反向延长夹角区域内； 所述第二拼接图案包括沿第一方向延伸的第三图形和沿第二方向延伸的第四图形，所述第二面内图案设置在所述第三图形和所述第四图形的反向延长夹角区域内；所述第一标记图案与所述第二标记图案拼接时，所述第一图形和所述第三图形在所述第一方向上部分重叠，所述第二图形与所述第四图形在所述第二方向上部分重叠； 所述第一面内图案包括第五图形、第六图形及至少一组第七图形，所述第五图形与所述第一图形平行设置，所述第六图形和所述第七图形与所述第二图形平行设置，且所述第六图形在所述第二方向的尺寸大于所述第七图形的尺寸，所述第七图形对称分布在所述第六图形的两侧； 所述第二面内图案包括第八图形、第九图形及至少一组第十图形，所述第八图形与所述第三图形平行设置，所述第九图形和所述第十图形与所述第四图形平行设置，且所述第九图形在所述第二方向的尺寸大于所述第十图形的尺寸，所述第十图形对称分布在所述第九图形的两侧。

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