中国科学技术大学杜学维获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利二维白光显微拼接干涉测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121274869B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511851818.9,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权二维白光显微拼接干涉测量装置及方法是由杜学维;胡毅洋;赵帅;王慧云;周重庆;赵一帆;贺亮设计研发完成,并于2025-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本二维白光显微拼接干涉测量装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种二维白光显微拼接干涉测量装置及方法,属于精密光学检测技术领域。所述装置包括基座平台、设置于其两侧的垂直运动台及分别承载的非索干涉仪和白光轮廓仪、X方向直线导轨以及设置于其上的大型转台组件和小型转台组件。方法通过协同使用白光轮廓仪和非索干涉仪,实时获取子孔径间的相对角度差,并采用动态角度补偿机制,结合特定的拼接算法实现面形数据的高精度融合。本发明有效解决了小曲率半径曲面反射镜子孔径拼接测量中的角度误差累积问题,实现了亚纳米级的面形测量精度,特别适用于X射线曲面反射镜的高精度检测。
本发明授权二维白光显微拼接干涉测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.二维白光显微拼接干涉测量装置,其特征在于,包括: 基座平台9; 第一垂直运动台3-1和第二垂直运动台3-2,分别设置于所述基座平台9两侧; 菲索干涉仪1,设置于所述第一垂直运动台3-1上,用于获取平面参考镜4的干涉条纹数据; 白光轮廓仪2,设置于所述第二垂直运动台3-2上,用于获取待检测曲面反射镜5的子孔径面形数据; X方向直线导轨8,设置于所述基座平台9上,位于所述第一垂直运动台3-1与所述第二垂直运动台3-2之间; 大型转台组件,设置于所述X方向直线导轨8上,所述大型转台组件用于承载所述待检测曲面反射镜5和所述平面参考镜4并带动二者进行同步转动调整; 小型转台组件,设置于所述大型转台组件上,所述小型转台组件用于承载所述平面参考镜4并带动所述平面参考镜4相对于所述大型转台组件进行独立转动调整; 其中,所述待检测曲面反射镜5固定设置于所述大型转台组件上,且位于所述白光轮廓仪2的视场下方;所述小型转台组件位于所述大型转台组件靠近所述菲索干涉仪1的一侧,所述平面参考镜4位于所述菲索干涉仪1的视场前方。
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