上海车仪田科技有限公司张南南获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种用于半导体工艺腔室的清洗终点判断方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121237703B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511802935.6，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权一种用于半导体工艺腔室的清洗终点判断方法及系统是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体工艺腔室的清洗终点判断方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体工艺腔室的清洗终点判断方法及系统，清洗终点判断方法包括以下步骤，获取清洗过程中产生的特征气体的光学参数，对光学参数进行数据处理，得到归一化吸收率A；获取清洗过程中产生的特征气体的电气参数V；对光学参数和电气参数V进行数据处理，得到光学终点指标、光学权重、电气终点指标以及电气权重；得到决策指标S；设定归一化吸收率A的第一阈值和决策指标S的第二阈值；当决策指标S连续低于第二阈值，且时，判定清洗完成。清洗终点判断系统包括半导体腔室、尾气排放管路和检测装置；检测装置设于尾气排放管路以实时检测特征气体的浓度。本发明能够提升检测过程中的抗干扰能力。
本发明授权一种用于半导体工艺腔室的清洗终点判断方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体工艺腔室的清洗终点判断方法，其特征在于，包括以下步骤， 获取清洗过程中产生的特征气体的光学参数，对所述光学参数进行数据处理，得到归一化吸收率A； 获取清洗过程中产生的特征气体的电气参数V； 对所述光学参数和所述电气参数V进行数据处理，得到光学终点指标、光学权重、电气终点指标以及电气权重； 对所述光学终点指标、所述光学权重、所述电气终点指标以及所述电气权重进行数据处理，得到决策指标S； 设定归一化吸收率A的第一阈值和决策指标S的第二阈值； 当所述决策指标S连续低于第二阈值，且时，判定清洗完成，其中，M为常数，取值范围为0.5-3。
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