湖北九峰山实验室陈旭获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北九峰山实验室申请的专利一种倾斜角晶体界面的检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121230659B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511788385.7,技术领域涉及:G01B15/00;该发明授权一种倾斜角晶体界面的检测方法是由陈旭;郑焙天;杨安丽;张洁琼;周长吉;肖科;杨冰;沈晓安设计研发完成,并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种倾斜角晶体界面的检测方法在说明书摘要公布了:本发明涉及倾斜角晶体界面的检测方法,包括以下步骤:S1.获取顶部晶体和底部晶体键合得到的键合晶体,分别在顶部晶体的底面和底部晶体的顶面制备TEM薄片,得到两个截面TEM薄片;S2.在两个TEM薄片的接触面上分别确定界面AOC和界面BOD,根据界面AOC和界面BOD建立笛卡尔三维坐标系,记夹角AOB为θ11,记夹角COD为θ22,记夹角BOD为,测量并记录θ11、θ22和;S3.根据θ11、θ22和计算界面AOC和界面BOD的倾斜角θ00,得到键合晶体的倾斜角。通过在键合晶体的键合界面处分别制备TEM薄片,并在三维坐标系下测量多个夹角,从而对晶体界面的几何关系建模,实现对界面倾斜角的高精度计算。
本发明授权一种倾斜角晶体界面的检测方法在权利要求书中公布了:1.一种倾斜角晶体界面的检测方法,其特征在于,包括以下步骤: S1.获取顶部晶体和底部晶体键合得到的键合晶体,分别在顶部晶体的底面和底部晶体的顶面制备TEM薄片,得到两个不同方向的截面TEM薄片; S2.在两个所述TEM薄片的接触面上分别确定界面AOC和界面BOD,根据界面AOC和界面BOD建立笛卡尔三维坐标系,记夹角AOB为θ1,记夹角COD为θ2,记夹角BOD为,测量并记录θ1、θ2和; S3.根据θ1、θ2和计算界面AOC和界面BOD的倾斜角θ0,得到所述键合晶体的界面倾斜角。
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