江苏东玖光电科技有限公司刘秉宁获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏东玖光电科技有限公司申请的专利一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材及其制备方法和应用、透明导电氧化物薄膜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121159233B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511716232.1,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材及其制备方法和应用、透明导电氧化物薄膜是由刘秉宁;孔伟华;马贺设计研发完成,并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材及其制备方法和应用、透明导电氧化物薄膜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材及其制备方法和应用、透明导电氧化物薄膜,通过EDTA‑甘油复合络合与FeⅢ‑柠檬酸H22O22自由基原位氧化体系,实现前驱体均匀络合与无机化转化,并采用双阶段气氛烧结工艺制得高致密、高强度、低电阻率靶材。所得靶材相对密度≥99.5%、电阻率≤3.5×10‑4‑4Ω·cm,所溅射薄膜方阻≤8Ωsq、透过率≥88.3%,适用于高性能光伏透明导电层制备。
本发明授权一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材及其制备方法和应用、透明导电氧化物薄膜在权利要求书中公布了:1.一种氧化铟钛铈铌陶瓷靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S1.将铟源化合物、钛源化合物、铈源化合物和铌源化合物溶解于含有氨基羧酸-多元醇复合络合剂的溶液中,形成稳定的有机络合溶液,其中,所述铟源化合物、钛源化合物、铈源化合物和铌源化合物的质量比为97.5~98.5:0.5~0.9:0.4~0.8:0.3~0.7; 步骤S2.在所述有机络合溶液中加入由过氧化氢、柠檬酸和三价铁盐组成的含氧自由基原位生成体系,使所述三价铁盐与柠檬酸形成FeⅢ-络合复合物,在加热条件下生成羟基自由基,得到经处理的氧化铟钛铈铌前驱体溶胶; 步骤S3.将步骤S2所得前驱体溶胶干燥后,于氧气气氛中煅烧至550~650℃,获得高纯氧化铟钛铈铌纳米粉体; 步骤S4.将步骤S3所得氧化铟钛铈铌纳米粉体经预压和冷等静压成型后,在双阶段气氛烧结系统中进行烧结,得到氧化铟钛铈铌陶瓷靶材;其中,所述氨基羧酸-多元醇复合络合剂由乙二胺四乙酸EDTA与甘油组成,其摩尔比为1∶2.5~3.5; 步骤S2中的FeⅢ-络合复合物由FeNO33与柠檬酸按摩尔比1∶1.5~2.5混合形成,加入量为有机络合溶液质量的0.05~0.3wt%;加热条件为70~90℃下进行20~40分钟;步骤S4中双阶段气氛烧结包括:第一阶段为氩气-氢气混合气氛,氧分压10-5~10-6atm,温度1100~1300℃;第二阶段为氧气-氩气混合气氛,氧分压10-2~10-3atm,温度1300~1500℃。
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