盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司王晓晨获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种用于晶圆传输设备的晶圆支架装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121123111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511659550.9，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种用于晶圆传输设备的晶圆支架装置及其使用方法是由王晓晨;王玉;张建;祁广杰设计研发完成，并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆传输设备的晶圆支架装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆传输设备的晶圆支架装置及其使用方法，其属于半导体制造技术领域，所述用于晶圆传输设备的晶圆支架装置包括基座，所述基座上表面开设有圆形的凹槽，所述凹槽的内壁上设有中心点关于凹槽圆心对称的第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架的上表面均开设有若干安装孔，每个所述安装孔内均设有宝石球，宝石球的直径大于所述安装孔的深度，每个所述安装孔的底部均开设有排气通道。本发明通过设置排气通道能够通过排气通道排出作业后安装孔内的颗粒、灰尘或浊气等污染物，有效解决固定支撑点因单点持续磨损而导致颗粒污染、晶圆划伤及寿命短的技术问题。
本发明授权一种用于晶圆传输设备的晶圆支架装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆传输设备的晶圆支架装置，其特征在于，包括基座2，所述基座2上表面开设有圆形的凹槽21，所述凹槽21的内壁上设有中心点关于凹槽21圆心对称的第一支架101和第二支架107，所述第一支架101和所述第二支架107的上表面均开设有若干安装孔，每个所述安装孔内均设有宝石球105，所述宝石球105的直径大于所述安装孔的深度，每个所述安装孔的底部均开设有排气通道114，所述排气通道114为通孔； 所述用于晶圆传输设备的晶圆支架装置使用时，包括以下步骤： 步骤S1，将待传输的晶圆3放置在第一支架101和第二支架107上方，使若干宝石球105的顶部与所述晶圆3的底部相接触； 步骤S2，传输过程中所述宝石球105受振动在安装孔内旋转，直至传输完成； 步骤S3，传输完成后通过排气通道114将传输过程中产生的颗粒和气体排出； 步骤S4，当存在宝石球105达到使用寿命时，通过所述排气通道114将达到使用寿命的宝石球105排出。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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