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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利管路连接装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121048043B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511587198.2，技术领域涉及：F16L33/10；该发明授权管路连接装置及半导体设备是由曾沛钦;王祥设计研发完成，并于2025-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本管路连接装置及半导体设备在说明书摘要公布了：一种管路连接装置及半导体设备，包括外层管件和设置在外层管件的内部空间中的内层套筒，第一连接部件密封且可活动地设置在外层管件的第一端，第二连接部件密封且可活动地设置在外层管件第二端，使得第一连接部件和第二连接部件分别能补偿第一连接部件对应的连接对象与第二连接部件对应的连接对象之间位置偏差，降低管路连接装置与其他部件刚性连接而产生的机械应力。此外，在管路连接装置工作时，气体从第一连接部件的第一接口通过内层套筒输送至第二连接部件的第二接口，因为气体输送通道被限定在内层套筒的内部，避免输送的气体与外层管件接触。因此，管路连接装置在补偿安装误差的同时，提高真空密封性。

本发明授权管路连接装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种管路连接装置，其特征在于，包括： 外层管件，包括相对的第一端和第二端，所述外层管件具有内部空间； 内层套筒，设置在所述外层管件的内部空间中，所述内层套筒包括第三端和第四端，所述第三端与所述第一端在同一侧，所述第四端与所述第二端在同一侧； 第一连接部件，密封且可活动地设置在所述外层管件的第一端，所述第一连接部件包括第一接口，所述第一接口与所述内层套筒的第三端连通，用于向所述内层套筒输送气体；所述第一接口包裹所述内层套筒的第三端的外侧壁，所述内层套筒的第三端的外侧壁与所述第一接口的内侧壁之间具有径向间隙；所述管路连接装置还包括：第一密封圈，设置在所述内层套筒的第三端的外侧壁与所述第一接口的内侧壁之间的所述径向间隙中；所述第一连接部件包括第五端，所述外层管件的第一端和所述第五端相间隔；所述管路连接装置还包括：第二密封圈，位于所述外层管件的第一端和所述第五端之间； 第二连接部件，密封且可活动地设置在所述外层管件的第二端，所述第二连接部件包括第二接口，所述第二接口与所述内层套筒的第四端连通，用于接收来自所述内层套筒的气体；所述第二连接部件包括第六端，所述第六端和所述外层管件的第二端相间隔；所述管路连接装置还包括：第三密封圈，设置在所述外层管件的第二端和所述第六端之间；所述管路连接装置还包括：第二卡箍，所述第二卡箍包括第二凹槽，所述第二端和第六端嵌入所述第二凹槽中。

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