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龙图腾网获悉北京锐洁机器人科技有限公司;天津锐洁芯导机器人有限公司申请的专利一种晶圆中心校准方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121035034B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511559130.3，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆中心校准方法及系统是由董纯洁;刘冬梅;王勇;王强设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆中心校准方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆中心校准方法及系统，涉及晶圆技术领域。具体公开了机械手在水平方向上取晶圆的过程中，通过机械手的两个手指上均安装在位传感器，感应到晶圆边缘时分别触发驱动器锁存晶圆边缘位置；CPU定期读取锁存的两个晶圆边缘位置，结合晶圆直径计算出晶圆的圆心坐标；计算当前两个晶圆边缘位置的角度距上次的角度之间的变化；将当前的圆心坐标转换为极坐标；对多次得到的圆心坐标的极坐标进行归一化；利用归一化后的极坐标，以及计算出的角度变化值动态补偿当前圆心坐标的纵向偏移误差，在圆心坐标取片。本发明省去了标定步骤，通过两个触发值对晶圆中心进行校准节约了计算过程，并保证晶圆中心的自动校准结果准确性。

本发明授权一种晶圆中心校准方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆中心校准方法，其特征在于，包括：机械手在水平方向上取晶圆的过程中，通过机械手的两个手指上均安装在位传感器，感应到晶圆边缘时分别触发驱动器锁存晶圆边缘位置，包括：根据两个所述在位传感器触发信号的手臂轴、旋转轴以及水平轴的位置，得到晶圆边缘上两个点在X轴和Y轴的坐标，具体包括： 以所述机械手的坐标系原点，在水平方向和竖直方向建立笛卡尔坐标系，任意一个所述在位传感器的坐标表达为： ； 其中，与代表第一个传感器的X轴坐标值和Y轴坐标值；代表所述机械手在水平轴上的移动位置，代表所述机械手在旋转轴上的移动位置，代表所述机械手在手臂轴上的移动位置； 任意一个晶圆边缘点的坐标表示为： ； ； ，表示晶圆边缘点在X轴和Y轴的坐标；表示旋转轴在X轴的坐标；为旋转轴在Y轴的坐标；表示手臂轴的伸缩量；表示手臂绕旋转轴的旋转角度； CPU定期读取锁存的两个晶圆边缘位置，结合晶圆直径计算出晶圆的圆心坐标；计算当前两个所述晶圆边缘位置的角度距上次的角度之间的变化；将当前的所述圆心坐标转换为极坐标；对多次得到的圆心坐标的极坐标进行归一化；利用归一化后的极坐标，以及计算出的角度变化值动态补偿当前圆心坐标的纵向偏移误差，将修正后的所述圆心坐标作为取片目标位置。

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