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龙图腾网获悉江苏伊诺维讯智慧科技有限公司申请的专利一种适用于线束加工的高精度刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121035026B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511586775.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种适用于线束加工的高精度刻蚀设备是由王金林;田紫钰设计研发完成，并于2025-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于线束加工的高精度刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种适用于线束加工的高精度刻蚀设备，属于线束加工领域，包括刻蚀设备本体，所述刻蚀设备本体上方设置有刻蚀仓，所述刻蚀仓内表面设置有载料组件，所述载料组件包括框体，所述框体与所述刻蚀仓内表面之间固定连接有第一连接板，所述框体内表面设置有载料台，所述载料台与所述框体内表面之间固定连接有第二连接板，所述框体前后两面均固定连接有限位杆，所述框体顶部固定连接有滑轨，所述滑轨顶部滑动连接有第一夹片，所述第一夹片上方设置有第二夹片。本申请通过设置载料组件来装载晶圆或线束来进行干法刻蚀，通过推动组件推动载料组件能够带动夹持的线束原地旋转从而进行转向，具有便于对线束外表面进行刻蚀的作用。

本发明授权一种适用于线束加工的高精度刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种适用于线束加工的高精度刻蚀设备，包括刻蚀设备本体1，其特征在于，所述刻蚀设备本体1上方设置有刻蚀仓2，所述刻蚀仓2内表面设置有载料组件3； 所述载料组件3包括框体301，所述框体301与所述刻蚀仓2内表面之间固定连接有第一连接板302，所述框体301内表面设置有载料台303，所述载料台303与所述框体301内表面之间固定连接有第二连接板304，所述框体301前后两面均固定连接有限位杆308，所述框体301顶部固定连接有滑轨305，所述滑轨305顶部滑动连接有第一夹片306，所述第一夹片306上方设置有第二夹片307； 所述第二夹片307右侧设置有推动组件4，所述推动组件4与所述第一夹片306之间设置有液压件5，所述框体301内表面装配有用于在闲置时对载料组件3进行遮挡防护的遮挡组件6，所述推动组件4右侧装配有用于对载料组件3进行清理的清洁组件7； 所述推动组件4包括第一推动气缸401，所述第一推动气缸401与所述框体301顶部固定连接，所述第一推动气缸401输出端固定连接有推动座402，所述推动座402与所述滑轨305顶部滑动连接，所述推动座402顶部固定连接有支撑座403，所述支撑座403与所述第二夹片307底部贯穿且滑动连接，所述支撑座403内表面顶部固定连接有第二推动气缸404，所述第二推动气缸404输出端与所述第二夹片307顶部固定连接，所述推动座402前后两面均固定连接有连接片405。

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