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龙图腾网获悉宁波中物光电杀菌技术有限公司;宁波柔印电子科技有限责任公司申请的专利用于晶圆级封装的光子解键合温度精准调控方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121035024B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511554246.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于晶圆级封装的光子解键合温度精准调控方法及系统是由王盛;杨天晗;李博;王静静;刘毅设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆级封装的光子解键合温度精准调控方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及温度控制领域，尤其涉及一种用于晶圆级封装的光子解键合温度精准调控方法及系统，方法包括：建立光热模型；获取芯片实际的解键合温度，计算芯片的温差数据，并通过模糊PID获取芯片的温度调节量，计算芯片PID各参数的调整量对温度变化的影响占比；获取芯片的温差均值序列、温差趋势变化序列和温差波动程度序列，分别计算温差均值序列、温差趋势变化序列、温差波动程度序列与各影响占比序列的皮尔逊相关系数，并调节PID各参数的模糊论域和自适应隶属度函数的伸缩因子；基于芯片的温差数据及其变化，通过自适应隶属度函数获取芯片的目标温度调节量调节下一芯片的解键合温度，本方案提高了解键合温度的调控精度。

本发明授权用于晶圆级封装的光子解键合温度精准调控方法及系统在权利要求书中公布了：1.用于晶圆级封装的光子解键合温度精准调控方法，其特征在于，包括： 基于闪光灯波长、功率和解键合时玻璃载板的温度建立光热模型，对晶圆上芯片的位置进行区域划分并确定闪光灯解键合的工作路径； 获取芯片实际的解键合温度，计算解键合温度与理想温度的温差数据，基于温差数据通过模糊PID获取芯片达到理想温度的温度调节量，并计算芯片PID各参数的调整量对温度调整量的影响占比，得到PID各参数的影响占比序列； 获取各芯片的温差均值序列，通过最小二乘拟合算法获取温差均值序列的温差趋势变化序列，通过方差法获取温差均值序列的温差波动程度序列，分别计算温差均值序列与比例调节影响占比序列、温差趋势变化序列与积分调节影响占比序列、温差波动程度序列与微分调节影响占比序列的皮尔逊相关系数，并基于各皮尔逊相关系数调节PID各参数的模糊论域和自适应隶属度函数的伸缩因子； 其中，伸缩因子的获取方法为：基于皮尔逊相关系数对温差均值序列与比例调节影响占比序列进行相关性分析，得到比例见效指数，将比例见效指数的绝对值减1后取负值并做自然指数运算，得到自适应隶属度函数的比例灵敏度伸缩因子； 基于皮尔逊相关系数对温差趋势变化序列与积分调节影响占比序列进行相关性分析，得到积分稳态指数，将积分稳态指数的绝对值减1后取负值并做自然指数运算，得到自适应隶属度函数的积分稳程伸缩因子； 基于皮尔逊相关系数对温差波动程度序列与微分调节影响占比序列进行相关性分析，得到微分防抖指数，将微分防抖指数的绝对值减1后取负值并做自然指数运算，得到自适应隶属度函数的微分防抖伸缩因子； 基于芯片的温差数据和温差数据的变化，通过自适应隶属度函数获取芯片的目标温度调节量，基于目标温度调节量沿工作路径调节下一芯片的解键合温度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宁波中物光电杀菌技术有限公司;宁波柔印电子科技有限责任公司，其通讯地址为：315100 浙江省宁波市鄞州区潘火街道金谷中路(西)165号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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