清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121018323B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511543484.9，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;赵德文;邢一;路新春设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆减薄设备和减薄方法，属于集成电路制造技术领域。其中，减薄方法包括：获取砂轮磨削晶圆过程的光信号对应的光强度值；基于光强度值确定基线漂移量和峰值衰减量；基于基线漂移量和峰值衰减量分别与相应阈值的比较结果，确定砂轮寿命状态。其中，光信号由晶圆减薄设备的砂轮中的热致发光的纳米粒子在磨削热激发下发出。本申请可以提高晶圆磨削精度、降低不良率及提高磨削效率。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.晶圆减薄设备，其特征在于，包括： 吸附平台，用于承托晶圆并带动晶圆旋转； 磨削装置，升降设置于吸附平台上方，其下部具有用于磨削晶圆的砂轮；所述砂轮包括磨块，所述磨块包含热致发光的纳米粒子，其在不同磨削热激发下发出不同强度的光信号； 采集器，用于采集所述光信号； 控制器，与所述采集器电连接，用于根据所述光信号确定基线漂移量、峰值差衰减量和峰值延迟量；所述控制器包括： 比较器，与所述采集器电连接，用于将基线漂移量、峰值差衰减量和峰值延迟量分别与相应阈值进行比较，以基于比较结果确定砂轮寿命状态，包括： 响应于基线漂移量小于或等于第一漂移阈值，且峰值差衰减量小于或等于第一衰减阈值，确定砂轮处于正常状态； 响应于基线漂移量大于第一漂移阈值，且小于或等于第二漂移阈值，或峰值差衰减量大于第一衰减阈值，且小于或等于第二衰减阈值，确定砂轮处于轻度磨损状态； 响应于基线漂移量大于第二漂移阈值，且峰值差衰减量大于第二衰减阈值，以及峰值延迟量大于延迟阈值，确定砂轮处于严重磨损状态。
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