清华大学张力飞获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆减薄设备和减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121004509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511543479.8，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权晶圆减薄设备和减薄方法是由张力飞;路新春;赵莹;赵德文设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆减薄设备和减薄方法在说明书摘要公布了：本申请涉及集成电路制造技术领域，提出了晶圆减薄设备和减薄方法。晶圆减薄设备，包括磨削装置和吸附平台，吸附平台用于承托晶圆并带动晶圆旋转，磨削装置升降设置于吸附平台上方，磨削装置的下部具有用于磨削晶圆的砂轮；砂轮包括基材和多个磨块，磨块通过胶粘层固定于基材；磨块包括：陶瓷基体；磨粒，分布于陶瓷基体中；复合纳米涂层，包覆在磨粒的表面，用于增强磨粒与陶瓷基体的界面结合强度；复合纳米涂层的成分包括氧化铈和氧化锆。通过上述技术方案，解决了相关技术中砂轮使用寿命短、减薄后晶圆表面质量较差的问题。
本发明授权晶圆减薄设备和减薄方法在权利要求书中公布了：1.晶圆减薄设备，其特征在于，包括磨削装置和吸附平台，所述吸附平台用于承托晶圆并带动晶圆旋转； 所述磨削装置升降设置于所述吸附平台上方，所述磨削装置的下部具有用于磨削晶圆的砂轮；所述砂轮由所述磨削装置驱动，通过轴向进给进行磨削； 所述砂轮包括基材和多个磨块，所述磨块通过胶粘层固定于所述基材； 所述磨块包括： 陶瓷基体； 磨粒，分布于所述陶瓷基体中； 复合纳米涂层，包覆在所述磨粒的表面，用于增强所述磨粒与所述陶瓷基体的界面结合强度，所述复合纳米涂层的制备方法包括以下步骤：将所述磨粒浸入锆铈复合纳米溶胶中干燥，得到溶胶包覆磨粒，将所述溶胶包覆磨粒升温至450~550℃煅烧2~4h，得到包覆在所述磨粒表面的所述复合纳米涂层； 所述复合纳米涂层的成分包括氧化铈和氧化锆； 所述复合纳米涂层的原料包括锆铈复合纳米溶胶，所述锆铈复合纳米溶胶包括以下重量份组分：含氧锆源1~1.5份、含氧铈源1.8~2.5份、络合酸2~3.5份； 所述陶瓷基体的成分包括硅氧化物、铝氧化物、硼氧化物。
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