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龙图腾网获悉深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请的专利一种流量检测方法、控制器及气体质量流量验证系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120970776B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511457593.9，技术领域涉及：G01F25/10；该发明授权一种流量检测方法、控制器及气体质量流量验证系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种流量检测方法、控制器及气体质量流量验证系统在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种流量检测方法、控制器及气体质量流量验证系统。本申请实施例利用气体输出模块向第一管路空间传输气体，在第一管路空间进入气体稳定状态后，关闭第二阀门且控制气体输出模块停止输出气体，获取第五管路空间在进入气体稳定状态后的第一目标容积参数，再次控制气体输出模块输出气体且控制第二阀门打开，在第一管路空间进入气体稳定状态并且通气条件满足预设条件后，关闭第二阀门且控制气体输出模块停止输出气体，获取第五管路空间在再次进入气体稳定状态后的第二目标容积参数，根据第一目标容积参数和第二目标容积参数，准确地计算气体流量，提升气体流量测量的准确度，实现对气体流量的测量验证。

本发明授权一种流量检测方法、控制器及气体质量流量验证系统在权利要求书中公布了：1.一种流量检测方法，应用于气体质量流量验证系统，其特征在于，所述气体质量流量验证系统包括校准系统、校准罐系统及干泵，所述校准系统包括第一阀门、第二阀门及第三阀门，所述校准罐系统包括校准罐与第四阀门，所述第一阀门的输入端用于对接气体输出模块，所述气体输出模块与所述校准系统通信连接，所述第一阀门的输出端与所述第二阀门的输入端连通，所述第二阀门的输出端分别对接所述第三阀门的输入端和所述第四阀门的输入端，所述第三阀门的输出端用于对接所述干泵，所述第四阀门的输出端用于与所述校准罐对接，所述流量检测方法包括： 控制所述气体输出模块向第一管路空间传输气体，所述第一管路空间由第二管路空间、第三管路空间、第四管路空间共同组成，所述第二管路空间为由所述第二阀门、所述第三阀门及所述第四阀门之间形成的管路空间，所述第三管路空间为由所述第一阀门与所述第二阀门之间形成的管路空间，所述第四管路空间为由所述气体输出模块的输出端与所述第一阀门之间形成的管路空间； 响应于所述第一管路空间进入气体稳定状态，控制所述气体输出模块停止输出气体且控制所述第二阀门进入关闭状态； 响应于第五管路空间进入气体稳定状态，获取所述第五管路空间的第一目标容积参数，所述第五管路空间由所述第三管路空间和所述第四管路空间共同组成； 控制所述气体输出模块输出气体且控制所述第二阀门进入打开状态； 响应于所述第一管路空间进入气体稳定状态且通气条件满足预设条件，控制所述气体输出模块停止输出气体且控制所述第二阀门进入关闭状态； 响应于所述第五管路空间再次进入气体稳定状态，获取所述第五管路空间的第二目标容积参数； 基于所述第一目标容积参数和所述第二目标容积参数，计算气体流量。

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