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龙图腾网获悉集美大学申请的专利一种基于多阶段脉冲反应溅射的抗靶材中毒方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120924901B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511476992.X，技术领域涉及：C23C14/00；该发明授权一种基于多阶段脉冲反应溅射的抗靶材中毒方法及系统是由徐文彬;吴一亮;曾桂英设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于多阶段脉冲反应溅射的抗靶材中毒方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于多阶段脉冲反应溅射的抗靶材中毒方法及系统，属于磁控溅射技术领域。本发明以空气作为反应气体，采用脉冲直流电源，对金属靶材进行反应溅射处理；所述反应溅射处理包括依次进行第一阶段、第二阶段与溅射电压反馈控制阶段。本发明分三个阶段调整溅射功率与占空比，其中第一阶段能够稳定起辉并初步清洁靶材表面，第二阶段能够提升空气中氮气离化率50%并抑制氧气离化率10%，溅射电压反馈控制阶段根据溅射电压下降幅度调整溅射功率以及占空比，能够高效溅射并剥离靶材表面绝缘化合物层，有效抑制靶材中毒状态。因此本发明方法能够有效抑制靶材中毒，延长靶材使用寿命，且无需采用复杂设备，成本较低。

本发明授权一种基于多阶段脉冲反应溅射的抗靶材中毒方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于多阶段脉冲反应溅射的抗靶材中毒方法，其特征在于，包括以下步骤： 以空气作为反应气体，采用脉冲直流电源，对金属靶材进行反应溅射处理；所述金属靶材为钛靶、铝靶、铜靶、铬靶、金靶或铂靶；所述反应溅射处理包括依次进行第一阶段、第二阶段与溅射电压反馈控制阶段； 所述第一阶段的条件包括：溅射功率为最高功率的15~20%且占空比为50~70%；所述最高功率为所述脉冲直流电源的最高功率； 所述第二阶段的条件包括：溅射功率为所述最高功率的40~45%且占空比为35~45%； 所述溅射电压反馈控制阶段包括：实时监测溅射电压，当溅射电压下降幅度初始溅射电压的15%时，保持溅射功率与占空比不变，当溅射电压下降幅度≥初始溅射电压的15%时，调整溅射功率为所述最高功率的80~100%且占空比为10~15%；继续实时监测溅射电压，当溅射电压恢复至＞初始溅射电压的85%时，执行所述第二阶段的条件；所述初始溅射电压为开始进行第一阶段时的溅射电压。

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