上海海栎创科技股份有限公司杨兆年获国家专利权
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龙图腾网获悉上海海栎创科技股份有限公司申请的专利高鲁棒性的ESD保护器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120916487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511446339.9,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权高鲁棒性的ESD保护器件是由杨兆年;龙腾;卢昌鹏设计研发完成,并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本高鲁棒性的ESD保护器件在说明书摘要公布了:本发明提供高鲁棒性的ESD保护器件,包括:衬底,衬底的表面并列覆盖N型阱层和P型阱层;N型阱层上覆盖第一P型掺杂层和第二P型掺杂层,P型阱层上覆盖第一N型掺杂层、第二N型掺杂层和第三P型掺杂层;第一N型掺杂层靠近第二P型掺杂层,且第一N型掺杂层与第二N型掺杂层之间设有间隔区;第一P型掺杂层与第二P型掺杂层之间设有第一沟槽;第二P型掺杂层与第一N型掺杂层之间设有第二沟槽;N型阱层内设有齐纳掺杂层,齐纳掺杂层位于第一沟槽及第二沟槽之间。通过齐纳触发和NMOS辅助放电的SCR结构,实现了更低的触发电压、适中的保持电压和更高的单位面积鲁棒性,有效解决传统ESD器件性能不足问题。
本发明授权高鲁棒性的ESD保护器件在权利要求书中公布了:1.高鲁棒性的ESD保护器件,其特征在于,包括: 衬底; 所述衬底的表面并列覆盖N型阱层和P型阱层; 所述N型阱层上覆盖第一P型掺杂层和第二P型掺杂层,所述P型阱层上覆盖第一N型掺杂层、第二N型掺杂层和第三P型掺杂层;所述第一N型掺杂层靠近所述第二P型掺杂层,且所述第一N型掺杂层与所述第二N型掺杂层之间设有间隔区,所述间隔区上设有栅极结构; 所述第一P型掺杂层与所述第二P型掺杂层之间设有第一沟槽;所述第二P型掺杂层与所述第一N型掺杂层之间设有第二沟槽;所述第二N型掺杂层与所述第三P型掺杂层之间设有第三沟槽; 所述N型阱层内设有齐纳掺杂层,所述齐纳掺杂层位于所述第一沟槽及第二沟槽之间; 所述第一P型掺杂层与所述一N型掺杂层通过金属连接线共同连接至阳极; 所述第二P型掺杂层、所述栅极结构、所述第二N型掺杂层和所述第三P型掺杂层通过金属连接线共同连接至阴极; 所述第二P型掺杂层及所述齐纳掺杂层形成齐纳二极管; 所述第一P型掺杂层与所述N型阱层构成阳极二极管; 所述第一P型掺杂层、所述N型阱层及所述P型阱层构成寄生PNP晶体管; 所述N型阱层、所述P型阱层及所述第二N型掺杂层构成第一寄生NPN晶体管; 所述的寄生PNP晶体管与所述第一寄生NPN晶体管构成SCR结构; 所述第一N型掺杂层、所述第二N型掺杂层及所述P型阱层构成第二寄生NPN晶体管; 所述阳极二极管与所述齐纳二极管构成触发路径; 所述SCR结构构成主放电路径; 所述第二寄生NPN晶体管构成辅助放电路径。
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