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龙图腾网获悉盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请的专利一种射频匹配器自动检测设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120908579B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511430587.4，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权一种射频匹配器自动检测设备及方法是由丁亚飞;闫瑞鑫;苏恒毅设计研发完成，并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频匹配器自动检测设备及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种射频匹配器自动检测设备及方法，属于半导体设备检测技术领域；所述设备射频匹配器自动检测中，匹配范围检测电路通过射频同轴线缆或射频连接器连接射频开关、射频电源、探针和射频匹配器；模拟负载模块包括第一阻抗调谐模块和第二阻抗调谐模块，第一阻抗调谐模块和第二阻抗调谐模块均包括由步进电机调控容值的真空可调电容和电感；吸收负载模块通过射频同轴线缆或射频连接器连接探针与射频开关。本发明检测方法包括自校准阶段补偿吸收负载阻抗偏移、匹配范围测试中调整四组电容极端组合并采集阻抗数据、匹配时间及检测驻波比及稳定性测试。本发明替代工艺腔室实现全自动检测，解决了无法模拟阻抗动态变化的问题。

本发明授权一种射频匹配器自动检测设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种射频匹配器自动检测设备，其特征在于，自动检测设备包括匹配范围检测电路10、模拟负载模块20、吸收负载模块30和控制模块40： 匹配范围检测电路10包括射频电源101、第一探针102、射频匹配器103、第二探针104、第三探针105、第一射频开关S1和第二射频开关S2；射频电源101通过射频同轴线缆连接至第一探针102，第一探针102连接至射频匹配器103的输入端；射频匹配器103的第一输出端连接至第二射频开关S2的公共端，射频匹配器103的第二输出端连接至第一射频开关S1的公共端，第二探针104的一端连接至第二射频开关S2的负载端，第三探针105的一端连接至第一射频开关S1的负载端；匹配范围检测电路10用于建立射频信号通路和采集阻抗参数； 模拟负载模块20包括第一阻抗调谐模块201A和第二阻抗调谐模块201B，第一阻抗调谐模块201A和第二阻抗调谐模块201B均包括真空可调电容和电感；第一阻抗调谐模块201A包含第一真空可调电容C1、第二真空可调电容C2及第一接地电感L1，第一真空可调电容C1的一端连接至第三探针105的另一端，第一真空可调电容C1的另一端连接至第一接地电感L1的一端，第一接地电感L1的另一端接地，第二真空可调电容C2的一端连接至第三探针105的另一端，第二真空可调电容C2的另一端连接至第三射频开关S3的负载端；第二阻抗调谐模块201B包含第三真空可调电容C3、第四真空可调电容C4及第二接地电感L2，第四真空可调电容C4的一端连接至第二探针104的另一端，第四真空可调电容C4的另一端连接至第二接地电感L2的一端，第二接地电感L2的另一端接地，第三真空可调电容C3的一端连接至第二探针104的另一端，第三真空可调电容C3的另一端连接至第三射频开关S3的负载端；模拟负载模块20用于动态模拟工艺腔室阻抗特性； 吸收负载模块30包括探针301和吸收负载DL；探针301的一端连接至吸收负载DL的一端，吸收负载DL的另一端接地；探针301的另一端连接至第三射频开关S3的公共端；吸收负载模块30用于提供基准阻抗并实现自校准； 控制模块40用于控制第一射频开关S1、第二射频开关S2、第三射频开关S3的通断和调节电容容值及监控探针输出数据；其中，控制模块40按预设曲线在1-100μs内调整电容容值，以还原等离子体起辉阶段阻抗跃迁过程。

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