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龙图腾网获悉深圳智赛精密装备有限公司申请的专利一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120854360B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510980578.6，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法是由郑仰高;楼正军设计研发完成，并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法，包括热压键合腔室、六自由度压电陶瓷执行器、伺服驱动电机、柔性夹爪、CCD相机、光源、红外热像仪、压电式压力传感器、激光差分干涉仪、夹持力检测传感器以及补偿控制器，柔性夹爪与伺服驱动电机的输出轴固定连接，柔性夹爪用于夹持固定上晶圆，六自由度压电陶瓷执行器用于补偿调节上晶圆的位置使其与下晶圆精准对准，CCD相机分别设置于上晶圆的上方的两侧，光源分别设置于下晶圆的下方的两侧，通过补偿控制器计算上晶圆沿X方向的补偿量Δx和Y方向的补偿量Δy。本发明的技术方案能够实现高温高压环境下晶圆实时动态对准，抑制热膨胀差异导致的键合偏移。

本发明授权一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于多模态传感器的混合键合晶圆动态对准系统，用于下晶圆和上晶圆热压键合，其特征在于，包括热压键合腔室、六自由度压电陶瓷执行器、伺服驱动电机、柔性夹爪、CCD相机、光源、红外热像仪、压电式压力传感器、激光差分干涉仪、夹持力检测传感器以及补偿控制器，下晶圆通过下吸盘吸附固定在所述热压键合腔室的底部，所述六自由度压电陶瓷执行器设置于所述热压键合腔室的内顶壁上，所述柔性夹爪分别设置于所述下吸盘的上方的两侧，所述伺服驱动电机与所述六自由度压电陶瓷执行器的输出端连接，所述柔性夹爪与所述伺服驱动电机的输出轴固定连接，所述柔性夹爪用于夹持固定上晶圆，所述六自由度压电陶瓷执行器用于补偿调节上晶圆的位置使其与下晶圆精准对准，所述CCD相机分别设置于上晶圆的上方的两侧，所述光源分别设置于下晶圆的下方的两侧，下晶圆的上端壁的两侧设有一可透光十字形对准标记，上晶圆的上端壁的两侧设有一与可透光十字形对准标记相对应的不透光十字形对准标记，所述光源位于可透光十字形对准标记的正下方，所述CCD相机分别位于不透光十字形对准标记的正上方，所述CCD相机和光源用于验证上晶圆和下晶圆是否对准，所述红外热像仪、压电式压力传感器以及补偿控制器设置于所述热压键合腔室内，所述红外热像仪用于测量上晶圆和下晶圆的局部温度，所述压电式压力传感器用于测量上晶圆和下晶圆之间加载的压力大小，所述激光差分干涉仪和夹持力检测传感器设置于所述伺服驱动电机内，所述激光差分干涉仪用于测量上晶圆X和Y方向的膨胀量，所述夹持力检测传感器用于检测柔性夹爪的夹持力大小，所述补偿控制器分别与所述六自由度压电陶瓷执行器、CCD相机、红外热像仪、压电式压力传感器、伺服驱动电机、激光差分干涉仪以及夹持力检测传感器电连接，通过所述补偿控制器计算上晶圆沿X方向的补偿量Δx和Y方向的补偿量Δy，并输出至所述六自由度压电陶瓷执行器进行动态补偿。

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