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龙图腾网获悉北京中科科仪光电科技有限公司申请的专利扫描电镜的工作距离校准方法、系统、扫描电镜及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120820739B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510808584.3，技术领域涉及：G01Q30/02；该发明授权扫描电镜的工作距离校准方法、系统、扫描电镜及介质是由王宁;马佳茵;孟祥良;尹贻恒;李赫奕设计研发完成，并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本扫描电镜的工作距离校准方法、系统、扫描电镜及介质在说明书摘要公布了：本发明涉及扫描电镜技术领域，公开了扫描电镜的工作距离校准方法、系统、扫描电镜及介质，方法包括：将标高样品放置在待校准扫描电镜的样品台上，调节物镜激励，改变物镜焦距，获取不同加速电压下的物镜激励；相同工作距离，利用第一拟合模型对不同加速电压及对应的物镜激励进行拟合，确定第一拟合模型的第一校准参数、第二校准参数；相同加速电压，利用第二拟合模型对不同工作距离及对应的物镜激励进行拟合，确定第二拟合模型的第三校准参数、第四校准参数、第五校准参数；利用五个校准参数对待校准扫描电镜进行校准。本发明通过两个拟合模型确定多个校准参数，提高扫描电镜出厂前关键参数校准的准确性。

本发明授权扫描电镜的工作距离校准方法、系统、扫描电镜及介质在权利要求书中公布了：1.一种扫描电镜的工作距离校准方法，其特征在于，所述方法包括： 将具有不同高度的标高样品放置在待校准扫描电镜的样品台上，设置不同加速电压，通过调节物镜激励改变物镜焦距，使标高样品清晰成像，以获取固定工作距离下，标高样品在不同加速电压下清晰成像时的物镜激励，及固定加速电压下，不同工作距离下的标高样品清晰成像时的物镜激励，标高样品清晰成像时物镜焦距等于标高样品的实际工作距离； 对于相同的实际工作距离，利用第一拟合模型对不同加速电压及对应的物镜激励进行拟合，确定第一拟合模型的第一校准参数、第二校准参数，所述第一拟合模型用于表示相同实际工作距离下物镜激励与加速电压之间的关系，所述第一拟合模型的确定过程包括：根据电子光学理论，确定扫描电镜的物镜焦距、物镜激励与加速电压之间的关系为： 其中，和为物镜电子光学常数，表示物镜焦距，表示物镜线圈匝数，表示经过物镜线圈的电流，表示扫描电镜的物镜激励，表示加速电压；根据扫描电镜的物镜焦距、物镜激励与加速电压之间的关系，确定物镜焦距不变时，物镜激励与加速电压的关系为：，其中，表示第一校准参数，表示第二校准参数； 对于相同的加速电压，利用第二拟合模型对不同实际工作距离及对应的物镜激励进行拟合，确定第二拟合模型的第三校准参数、第四校准参数、第五校准参数，所述第二拟合模型用于表示相同加速电压下物镜激励与标示工作距离之间的关系，所述第二拟合模型的确定过程包括：根据扫描电镜的物镜焦距、物镜激励与加速电压之间的关系，确定加速电压不变时，物镜激励与标示工作距离之间的转换关系为：，其中，表示标示工作距离，表示第三校准参数，表示第四校准参数，表示第五校准参数； 利用所述第一校准参数、第二校准参数、第三校准参数、第四校准参数、第五校准参数对待校准扫描电镜进行校准。

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