广东骏达精密科技有限公司颜杰钦获国家专利权
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龙图腾网获悉广东骏达精密科技有限公司申请的专利一种碳化硅晶圆抛光用的抛光垫及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120775373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511098930.X，技术领域涉及：C08L75/08；该发明授权一种碳化硅晶圆抛光用的抛光垫及其制备方法和应用是由颜杰钦;郭东勇;李泽辉设计研发完成，并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶圆抛光用的抛光垫及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种碳化硅晶圆抛光用的抛光垫及其制备方法和应用，所述抛光垫包括以下重量份计的原料：10‑15份硅油、25‑35份聚氨酯预聚体、1‑3份阴离子扩链剂、0.001‑0.004份第一催化剂和2‑5份改性有机硅微球。本发明通过采用壳聚糖季铵盐和肉桂酸对环氧基有机硅弹性体粉末进行改性，制得兼具高刚性和高界面结合力的改性有机硅微球，从而显著提升了抛光垫的耐磨性和储能模量，满足碳化硅晶圆高精度抛光的需求。
本发明授权一种碳化硅晶圆抛光用的抛光垫及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆抛光用的抛光垫，其特征在于，包括以下重量份计的原料：10-15份硅油、25-35份聚氨酯预聚体、1-3份阴离子扩链剂、0.001-0.004份第一催化剂和2-5份改性有机硅微球；其中，所述改性有机硅微球的制备方法，包括以下步骤： 将环氧基有机硅弹性体粉末、壳聚糖季铵盐加入到有机溶剂中搅拌分散均匀，升温至60-100℃，加入第二催化剂，搅拌反应2-3h，加入肉桂酸，升温至120-125℃，继续搅拌反应6-7h，过滤，干燥，得到所述改性有机硅微球；其中，所述环氧基有机硅弹性体粉末、壳聚糖季铵盐、肉桂酸和第二催化剂的质量比为3-5：1.5-2：1：0.001-0.003；所述有机溶剂的加入量为环氧基有机硅弹性体粉末、壳聚糖季铵盐、肉桂酸和第二催化剂总质量的3-4倍；所述壳聚糖季铵盐的脱乙酰度≤80％。
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