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龙图腾网获悉上海亚曼光电科技有限公司申请的专利一种环保型晶圆超声清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120286435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510666899.9，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种环保型晶圆超声清洗设备是由李亦;赵振浩;吕学飞;晏建发;谭汉军;李理;谢红设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种环保型晶圆超声清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种环保型晶圆超声清洗设备，涉及晶圆超声清洗液回收领域，包括清洗室和回收过滤室，清洗室固定安装在回收过滤室的顶部，用于使用超声波清洗晶圆，回收过滤室的顶部固定安装有清洗回收机构，回收过滤室的内部固定安装有过滤机构，过滤机构与清洗回收机构相连通。本发明设备设置了回收过滤室，清洗液经清洗回收机构流入过滤机构，通过双重过滤芯过滤后循环使用。这种循环利用的方式大幅减少了清洗液的消耗，降低了生产成本，同时减少了清洗液排放对环境的污染。此外，回流管道利用液位差使清洗液自然流动，减少了额外动力设备的使用，降低了能耗，实现了环保与节能的双重目标。

本发明授权一种环保型晶圆超声清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种环保型晶圆超声清洗设备，包括清洗室1和回收过滤室2，清洗室1固定安装在回收过滤室2的顶部，用于使用超声波清洗晶圆，其特征在于：回收过滤室2的顶部固定安装有清洗回收机构3，回收过滤室2的内部固定安装有过滤机构4，过滤机构4与清洗回收机构3相连通； 清洗回收机构3包括分隔台31、防溢挡板32和主圆筒35，主圆筒35固定安装在分隔台31的中心处，防溢挡板32固定安装在分隔台31的上表面，环绕并高于主圆筒35，主圆筒35的内部滑动连接有活动板312，主圆筒35的两侧均连通有回流管道36，且回流管道36与主圆筒35的连接口存在高度差； 过滤机构4包括空心管42、第一活塞43和第二活塞44，第一活塞43和第二活塞44对称滑动连接在空心管42的内部，空心管42与回流管道36连通，且空心管42与回流管道36相垂直，回流管道36与空心管42的交接处设置有两处过滤芯319； 回流管道36的内壁上固定安装有渗透板314，渗透板314的内部滑动连接有封堵块315，封堵块315与渗透板314之间固定连接有弹簧，回流管道36与主圆筒35的交接处分别活动安装有第一弧形板316和第二弧形板317，第一弧形板316与回流管道36和垂直板34滑动连接。

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