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龙图腾网获悉杭州兆载永心网络科技有限公司申请的专利用于对半导体工艺进行筛选的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120068376B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411996168.2，技术领域涉及：G06F30/20；该发明授权用于对半导体工艺进行筛选的方法及装置是由徐文培;温日;郭少哲设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于对半导体工艺进行筛选的方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体工艺进行筛选的方法及装置，以典型的电路模块作为仿真评价的最小单元，从而能够尽可能避免单个器件参数的微小误差在器件数量的增大之下不断累积，变成影响芯片整体功能与性能方面的巨大误差的问题，使工艺平台评价更接近生产实际。

本发明授权用于对半导体工艺进行筛选的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于对半导体工艺进行筛选的方法，其特征是，所述的方法包括以下步骤： 步骤1，构建一个仿真模型库，所述仿真模型库包括可供用户选择的仿真电路模块，以及每个仿真电路模块对应预设的仿真方案；构建一个工艺数据库，所述工艺数据库包括可供用户选择的工艺平台的器件性能数据； 步骤2，根据用户选择，加载仿真电路模块和多个待选工艺平台器件性能数据； 步骤3，基于预设的仿真方案，获取每一个待选工艺平台在仿真电路模块中的多个性能参数的仿真评价结果； 步骤4，获取用户的关注度权重，根据所述关注度权重统计各个工艺平台的仿真评价结果获得最终的工艺评价结果，为用户的半导体工艺筛选提供决策参考； 所述的仿真方案包括仿真状态参数、仿真策略和评价性能参数； 所述的仿真状态参数包括至少为两个维度的状态参数，并且每个维度的状态参数包括一个典型状态参数和多个非典型状态参数； 所述仿真策略的构建方式进一步包括： 将所有维度的状态参数进行排列组合构成一系列仿真方案，并记录评价性能参数的仿真结果； 抽取其中各维度的状态参数都为典型状态参数时的仿真结果，作为评价性能参数的典型值； 基于控制变量原则抽取仅每一个维度状态参数在非典型状态参数的评价性能参数的仿真结果作为第一非典型值； 将余下的仿真方案的评价性能参数的仿真结果作为第二非典型值； 分别统计每一个维度状态参数的第一、第二非典型值和典型值的偏差值； 所述步骤4，进一步包括： 步骤401，所述的获取用户的关注度权重，具体是用户针对每一个维度状态参数的权重数据； 步骤402，根据所述权重数据和每一个维度状态参数的非典型值和典型值的偏差值，计算针对一个待选工艺平台的工艺评价结果； 步骤403，比较各个待选工艺平台的工艺评价结果，为用户的半导体工艺筛选提供决策参考； 统计每一个维度状态参数的非典型值和典型值的偏差值，进一步包括： 获取第一、第二非典型值中的最大值和最小值； 将第一非典型值中的最大值和最小值与同项评价性能参数的典型值相比，获得多个第一偏差值，所述第一偏差值和每个状态参数维度对应； 将第二非典型值中的最大值和最小值与同项评价性能参数的典型值相比，获得第二偏差值，所述第二偏差值代表整体偏差。

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