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安徽联效科技有限公司崔时荣获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽联效科技有限公司申请的专利一种直拉单晶生长装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119980438B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510477484.7,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种直拉单晶生长装置是由崔时荣设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种直拉单晶生长装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体设备技术领域,具体说是一种直拉单晶生长装置,包括底板、固定设置在底板上端中部的生长炉、安装在生长炉上端的连接管以及固定连接在连接管上端的提升管,所述的生长炉侧部设置有拉升旋转组件,拉升旋转组件下端固定连接在底板上,提升管侧壁固定连接有负载分散组件,负载分散组件下端固定连接在底板上,通过设置多个支撑件,使得每个不同的腔室均安装在不同的受力支撑件上,保证了装置整体的稳定性,同时能够对安装后装置的垂直度进行检测,确保安装精度,在腔室打开后,能够及时对腔门进行稳定支撑,有效保证了载荷分散的均匀性,从而提高了单晶硅棒的生产质量。

本发明授权一种直拉单晶生长装置在权利要求书中公布了:1.一种直拉单晶生长装置,包括底板1、固定设置在底板1上端中部的生长炉2、安装在生长炉2上端的连接管3以及固定连接在连接管3上端的提升管4,其特征在于:所述的生长炉2侧部设置有拉升旋转组件5,拉升旋转组件5下端固定连接在底板1上,提升管4侧壁固定连接有负载分散组件6,负载分散组件6下端固定连接在底板1上; 所述的提升管4内壁上沿其周向均匀开设有半柱形滑槽41,提升管4外侧壁开设有出料口,出料口内安装有起闭腔门42; 所述的拉升旋转组件5包括拉升单元51,提升管4侧部固定设置有拉升单元51,拉升单元51侧部固定连接有检测单元59,检测单元59贴合在提升管4侧壁上,所述的检测单元59包括折形杆591,折形杆591上端固定连接有弧形箍592,弧形箍592的凹形弧面内沿其弧向均匀开设有安装槽,安装槽内通过挤压弹簧594滑动安装有压电触头开关593,弧形箍592上端对应安装槽的位置设置有检测灯595,压电触头开关593通过电信号的方式和检测灯595相连,压电触头开关593在初始位置时和提升管4侧壁为接触但未产生挤压力的状态; 所述的负载分散组件6包括矩形柱61,生长炉2侧部且位于底板1上端面的位置固定连接有矩形柱61,矩形柱61内部呈空心结构,矩形柱61外侧壁上固定安装有若干定位件62,定位件62侧壁固定连接有应力横梁63,应力横梁63远离定位件62的端头固定连接在提升管4侧壁上,矩形柱61侧壁上靠近下端的位置固定安装有和起闭腔门42相互配合的支撑单元64; 所述的支撑单元64包括电动推杆641,矩形柱61侧壁靠近下端的位置固定安装有电动推杆641,电动推杆641上端固定连接有L形杆642,矩形柱61侧壁上开设有矩形滑槽,L形杆642一端滑动安装在矩形滑槽内,L形杆642另一端固定连接有弧形支撑台643,弧形支撑台643上端面开设有限位弧形槽644; 生长炉2底部中间设置有石墨底托25,石墨底托25上端支撑有石英坩埚26,所述的石英坩埚26上端边缘沿其周向均匀安装有石墨支撑柱261,石墨支撑柱261直径从上至下逐渐减小,石墨支撑柱261上端固定安装有若干个同轴心设置的石墨环262。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽联效科技有限公司,其通讯地址为:231699 安徽省合肥市肥东县店埠镇梁园北路北苑市场北侧100米镇北社区居民委员会二楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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