之江实验室杜清扬获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室申请的专利一种片上光热气体传感器和片上光热气体传感器组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804390B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411934211.2，技术领域涉及：G01N21/41；该发明授权一种片上光热气体传感器和片上光热气体传感器组件是由杜清扬;张燕;张欢;姚妮;虞绍良设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种片上光热气体传感器和片上光热气体传感器组件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种片上光热气体传感器和片上光热气体传感器组件，传感器脊形波导层的上波导材料层的折射率大于下波导材料层的折射率，能够同时支持TM模式的泵浦光和TE模式的探测光。即，同时兼顾了待测气体对泵浦光的高吸收和对探测光的弱影响，提高了对气体的探测精度。而且，采用了更加简单的波导结构，波导制备工艺简单，波导的损耗也相对较低。相比于光纤传感中的光热干涉法而言，既极大的提高了泵浦光与待测气体的相互作用，又在保证高灵敏度的同时极大的缩短了探测波导的长度，器件尺寸可缩小至微米量级。此外，本发明公开的片上光热气体传感器的波导结构由硫系玻璃制备而成，对应用于中红外波段的气体探测具有更加明显的优势。
本发明授权一种片上光热气体传感器和片上光热气体传感器组件在权利要求书中公布了：1.一种片上光热气体传感器，其特征在于，包括： 硅衬底； 氧化硅包层，所述氧化硅包层设置在所述硅衬底两端的表面，且所述氧化硅包层中间设置有下空气包层； 脊形波导层，所述脊形波导层设置在所述氧化硅包层和下空气包层表面，且所述脊形波导层的上波导材料层的折射率大于下波导材料层的折射率，所述上波导材料层为所述脊形波导层的突出部分，所述下波导材料层的厚度为所述脊形波导层厚度的14-12； 上空气包层，所述上空气包层设置在所述脊形波导层表面； 其中，所述片上光热气体传感器的泵浦光为TM模式，探测光为TE模式。
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