湘潭大学;华商电力科技发展(深圳)有限公司肖永光获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭大学;华商电力科技发展(深圳)有限公司申请的专利具有高剩余极化值的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119789781B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510037833.3,技术领域涉及:H10N97/00;该发明授权具有高剩余极化值的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法是由肖永光;肖纪波;肖育洁;唐明华;阮金霞;林槟;王松坚设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有高剩余极化值的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于铁电材料制备领域,具体提供了一种具有高剩余极化值的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法,首先以铪盐、钐盐为原料配制得到澄清淡黄色的钐掺杂二氧化铪前驱体溶液,然后根据实验要求将前驱体涂覆在处理后的铂基片上,最后经干燥、预热、退火处理得到高剩余极化值的Sm‑HfO22铁电薄膜。本发明采用化学溶液法制备氧化铪基铁电薄膜能够实现薄膜厚度的精确可控,成膜均匀性好,操作简单,掺杂元素含量灵活可控,设备要求简单,成本低廉,工艺可重复,易于实现工业化生产。
本发明授权具有高剩余极化值的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具有高剩余极化值的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:制备前驱体溶液;具体包括如下子步骤: S11:将铪盐加入溶剂中进行搅拌,直至全部溶解; S11中所加入的铪盐为C20H28HfO8;S12中所加入的钐盐为SmNO33•6H2O;钐的摩尔百分比范围为1~15mol%; S12:加入钐盐进行搅拌,直至得到澄清的溶液; S13:避光陈化,得到澄清淡黄色的钐掺杂二氧化铪前驱体溶液; S2:进行基片清洗; S3:进行涂覆和干燥处理;具体为,将S1中所得到的前驱体溶液涂覆在S2中清洗的基片上,在涂覆之前先去除表面杂质;每涂覆一层后都需将基片置于烤胶机上干燥,再将加热干燥后的基片转移至加热台上进行热解,再将干燥热解后的薄膜进行冷却,再进行下一层的涂覆;重复上述步骤,直到制备出所需要的薄膜厚度; S4:进行薄膜预热处理:将S3中得到的薄膜置于充满保护气体的退火炉中进行预退火处理,再进行退火,随炉冷至室温,制备钐掺杂二氧化铪铁电薄膜; S5:将S4中所制备的钐掺杂二氧化铪铁电薄膜镀上电极。
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