西安电子科技大学芜湖研究院;西安电子科技大学周瑜获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学芜湖研究院;西安电子科技大学申请的专利一种蛾眼减反SiC/Ga2O3异质结紫外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119789554B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411969922.3,技术领域涉及:H10F30/222;该发明授权一种蛾眼减反SiC/Ga2O3异质结紫外探测器及其制备方法是由周瑜;迟奔奔;杜丰羽;韩超设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蛾眼减反SiC/Ga2O3异质结紫外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种蛾眼减反SiCGa22O33异质结紫外探测器及其制备方法,该紫外探测器包括:P+型SiC衬底、P+型SiC外延层、n‑型Ga22O33功能层、n+型Ga22O33功能层、SiyyNxx钝化保护层、阳极电极、阴极电极和背反射层;该制备方法包括:在P+型SiC衬底上外延生长三维蛾眼结构的P+型SiC外延层,在P+型SiC外延层上依次外延生长n‑型Ga22O33功能层和n+型Ga22O33功能层,在三维蛾眼结构衔接处生长SiyyNxx钝化保护层,在n+型Ga22O33功能层表面形成阳极电极,在P+型SiC衬底的背面形成阴极电极,在阴极电极的背面形成背反射层。本发明的紫外探测器实现了氧化镓和碳化硅的材料劣势互补,拓宽了器件的相应波长范围与性能,提高了器件的光学利用率。
本发明授权一种蛾眼减反SiC/Ga2O3异质结紫外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种蛾眼减反SiCGa2O3异质结紫外探测器,其特征在于,包括: P+型SiC衬底; P+型SiC外延层,所述P+型SiC外延层为半球形,且所述P+型SiC外延层间隔分布于所述P+型SiC衬底上; n-型Ga2O3功能层,所述n-型Ga2O3功能层设置于所述P+型SiC外延层上; n+型Ga2O3功能层,所述n+型Ga2O3功能层设置于所述n-型Ga2O3功能层上,所述P+型SiC外延层、所述n-型Ga2O3功能层和所述n+型Ga2O3功能层形成蛾眼结构; SiyNx钝化保护层,所述SiyNx钝化保护层设置于所述P+型SiC衬底上,且位于相邻的两个所述n+型Ga2O3功能层之间; 阳极电极,所述阳极电极设置于所述n+型Ga2O3功能层上; 阴极电极,所述阴极电极设置于所述P+型SiC衬底的背面; 背反射层,所述背反射层设置于所述阴极电极的背面。
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