新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利硅片管理方法及硅片传输控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119689793B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411883261.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权硅片管理方法及硅片传输控制系统是由张琪;符友银;李俊辉;沈全安设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片管理方法及硅片传输控制系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种硅片管理方法及硅片传输控制系统，涉及半导体技术领域。该方法包括获取片库管理器的传输控制参数，其中，传输控制参数包括取片控制参数、扫描控制参数以及放片控制参数；根据取片控制参数，从多个预设硅片库中，确定取片库；控制取片机械手对取片库进行扫描，确定取片库中的目标硅片，并控制取片机械手将目标硅片搬送至硅片工作台进行曝光；在曝光结束后，根据放片控制参数，从多个预设硅片库中确定放片库，并控制放片机械手将曝光后的目标硅片从硅片工作台搬送至放片库中。本申请的方法能够自动控制取片机械手和放片机械手完成硅片的曝光作业，避免了用户繁琐的操作。
本发明授权硅片管理方法及硅片传输控制系统在权利要求书中公布了：1.一种硅片管理方法，其特征在于，包括： 获取片库管理器的传输控制参数，其中，所述传输控制参数包括：取片控制参数、扫描控制参数以及放片控制参数； 根据所述取片控制参数，从多个预设硅片库中，确定取片库； 根据所述扫描控制参数，控制取片机械手对所述取片库进行扫描，确定所述取片库中的目标硅片，并控制所述取片机械手将所述目标硅片搬送至硅片工作台进行曝光； 在曝光结束后，根据所述放片控制参数，从所述多个预设硅片库中确定放片库，并控制放片机械手将曝光后的目标硅片从所述硅片工作台搬送至所述放片库中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新毅东(北京)科技有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励