哈尔滨工业大学那拓扑获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119582482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411601170.5,技术领域涉及:H02K1/17;该发明授权一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机是由那拓扑;段永鑫;段钰靖;石庭松;赵勃;谭久彬设计研发完成,并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机在说明书摘要公布了:一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机,本发明为了解决光刻机工作台动子线圈运动过程中需要线缆供电,影响磁悬浮运动台的运动性能的问题,本发明包括定子结构和动子结构,所述动子结构位于定子结构的上部,所述定子结构包括多个定子单元,多个定子单元呈2*2矩阵布置,所述每个定子单元的N极组件和S极组件交错设置;所述动子结构包括多个动子单元,多个动子单元呈2*2矩阵布置。本发明通过带有无线电能传输发射端线圈的海尔贝克阵列定子和带有无线电能传输接收端线圈的动子绕组,可以实现动子绕组低电流波动供电,保证动圈式磁悬浮平面电机无缆化长行程运行,进而提升光刻机用工件台的运动性能。本发明属于光刻设备技术领域。
本发明授权一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机在权利要求书中公布了:1.一种用于光刻机工件台的无缆化动圈式磁悬浮平面电机,包括定子结构1和动子结构2,所述动子结构2位于定子结构1的上部,所述定子结构1包括多个定子单元,多个定子单元呈2*2矩阵布置,每个所述定子单元包括若干个N极组件和S极组件,N极组件和S极组件交错设置;所述动子结构2包括多个动子单元,多个动子单元呈2*2矩阵布置;其特征在于:每个所述N极组件包括N极磁铁1-1、第二磁铁1-2、第三磁铁1-3和无线电能传输发射端线圈1-4,第二磁铁1-2套装在N极磁铁1-1上,第二磁铁1-2的上方和左侧各设有一个第三磁铁1-3,每个第三磁铁1-3的上部设有一个无线电能传输发射端线圈1-4。
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