宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机用晶圆定位设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119472175B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411708810.2,技术领域涉及:G03F7/16;该发明授权一种涂胶显影机用晶圆定位设备是由周修斌;安礼余设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机用晶圆定位设备在说明书摘要公布了:本发明属于涂胶显影辅助设备技术领域,且公开了一种涂胶显影机用晶圆定位设备,包括载板和定位操作臂,所述载板的内部固定设有主夹持组件,所述主夹持组件的两端固定设有安装板。本发明通过两侧挤推组件沿着调节式夹紧部背部的两侧进行挤压推动,并控制弹性金属片和热应力片变形,并沿着晶圆外侧面贴合,适应晶圆外侧弧面实现充分的紧密贴合和夹紧,从而适应不同尺寸晶圆的夹紧,快速调整弯曲弧度适应晶圆外侧弧面,大大提高经验定位的使用范围,避免更换定位夹持模具,同时调节过程可根据晶圆尺寸实时调节,并在调节后也可维持弯曲温度,针对同一尺寸的晶圆实现一次调节后的连续快速使用,综合使用效果好,适应性调节简单快捷,使用效果好。
本发明授权一种涂胶显影机用晶圆定位设备在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影机用晶圆定位设备,包括载板1和定位操作臂2,其特征在于:所述载板1的内部固定设有主夹持组件3,所述主夹持组件3的两端固定设有安装板4,所述安装板4的顶部固定连接有连接杆5,所述连接杆5的端部固定设有调节式夹紧部6,所述安装板4顶部固定设有横移调节组件8,所述连接杆5的两侧对称分布有挤推组件7,所述挤推组件7的活动端活动套接在调节式夹紧部6的背面,所述横移调节组件8控制两侧分布的挤推组件7同时同步彼此远离移动,所述连接杆5的顶部固定设有分配式供气组件9,所述分配式供气组件9具有两个出气端,一个出气端与调节式夹紧部6连通,且另一端出气端与挤推组件7连通,所述主夹持组件3控制两侧的调节式夹紧部6同步移动; 所述调节式夹紧部6包括弹性金属片61、弧槽62、热应力片63、内部弧腔64和出气斜孔65,所述弧槽62开设在弹性金属片61的背面,所述热应力片63固定连接在弹性金属片61的正面,所述内部弧腔64和出气斜孔65均开设在弹性金属片61的内部,且彼此连通。
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