深圳新声半导体有限公司;苏州新声科技有限公司王友良获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司;苏州新声科技有限公司申请的专利滤波器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119210374B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411291709.1,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权滤波器及其制造方法是由王友良;冯端设计研发完成,并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本滤波器及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种滤波器及其制造方法,其中制造方法包括提供衬底;在衬底一侧的平面上制作压电体;制作位于压电体两侧的第一电极和第二电极,第一电极、压电体和第二电极构成压电感测结构;制作调频结构,调频结构包括与第一电极固定连接的第一调频块和与第二电极固定连接的第二调频块;制作壳体结构,壳体结构固定于衬底的上方形成容纳压电感测结构和调频结构的第一空腔;制作电连接结构,电连接结构包括第一电连接件和第二电连接件,第一电连接件与第一电极电连接,第二电连接件与第二电极电连接。本申请能够通过独立调节不同电极一侧的调频块实现更准确地调节滤波器的频率,增大了频率调节范围,提高了频率稳定性和控制精度。
本发明授权滤波器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种滤波器的制造方法,其特征在于,包括: 提供衬底,在所述衬底一侧的平面上制作覆盖所述衬底表面的压电材料层,刻蚀所述压电材料层以形成压电体; 制作电极层,所述电极层包覆所述压电体以及覆盖所述衬底的剩余表面; 刻蚀所述电极层,以形成位于所述压电体两侧的第一电极和第二电极,以使得所述第一电极、所述压电体和所述第二电极沿衬底的平面方向层叠设置构成压电感测结构; 制作调频结构,所述调频结构包括第一调频块和第二调频块,所述第一调频块与第一电极固定连接,所述第二调频块与第二电极固定连接; 制作壳体结构,所述壳体结构罩设并固定于所述衬底的上方,以形成容纳所述压电感测结构和所述调频结构的第一空腔; 制作电连接结构,所述电连接结构包括第一电连接件和第二电连接件,所述第一电连接件贯穿所述壳体结构并与所述第一电极电连接,所述第二电连接件贯穿所述壳体结构并与所述第二电极电连接; 刻蚀所述壳体结构,形成第一缺口和第二缺口,其中在所述衬底厚度方向的上,所述第一缺口的投影位于所述第一调频块的投影范围内,所述第二缺口的投影位于所述第二调频块的投影范围内。
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