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杭州士兰微电子股份有限公司王广猛获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利一种MEMS角速度传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119146942B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411658875.0,技术领域涉及:G01C19/5684;该发明授权一种MEMS角速度传感器是由王广猛;王敏昌;汪建平;薛胜方;胡铁刚设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种MEMS角速度传感器在说明书摘要公布了:本申请公开了一种MEMS角速度传感器,包括第一检测结构,检测第一轴线方向的角速度;第二检测结构,检测第二轴线方向的角速度,第二检测结构位于第一检测结构的两侧,第二检测结构和第一检测结构组成的整体结构的投影为十字结构,并形成十字结构的四个独立的边角区域;结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块,第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块中的每个驱动质量块位于一个边角区域中。本申请的MEMS角速度传感器中四个驱动质量块位于第一检测结构和第二检测结构整体形成的四个边角区域,避免了轴间干扰对传感器精度的影响。

本发明授权一种MEMS角速度传感器在权利要求书中公布了:1.一种MEMS角速度传感器,包括: 第一检测结构,用于检测第一轴线方向的角速度; 第二检测结构,用于检测第二轴线方向的角速度,所述第一轴线与所述第二轴线垂直,所述第二检测结构位于所述第一检测结构的两侧,其中,所述第二检测结构和所述第一检测结构组成的整体结构的投影为十字结构,并形成十字结构的四个独立的边角区域; 结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块,所述第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块中的每个驱动质量块位于一个所述边角区域中彼此隔开, 所述第二检测结构包括第三检测质量块、第四检测质量块、第五检测质量块、第六检测质量块,所述第三检测质量块、所述第四检测质量块位于所述第一检测结构的第一侧,所述第三检测质量块、所述第四检测质量块位于所述第一驱动质量块和第二驱动质量块之间,所述第五检测质量块、所述第六检测质量块位于所述第一检测结构的第二侧,所述第五检测质量块、所述第六检测质量块位于所述第三驱动质量块和所述第四驱动质量块之间, 所述第一检测结构关于第一轴线、第二轴线均对称。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州士兰微电子股份有限公司,其通讯地址为:310012 浙江省杭州市西湖区黄姑山路4号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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