西安奕斯伟材料科技股份有限公司袁力军获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118837391B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410863801.4，技术领域涉及：G01N23/207；该发明授权一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质是由袁力军;徐鹏;尚荔阳设计研发完成，并于2024-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本公开提供了一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质；该方法可以包括：根据待测晶圆的中性面的法向与期望的单晶生长方向的夹角获取第一修正值；根据所述待测晶圆绕中心旋转180°前、后的X射线衍射角获取第二修正值；根据所述待测晶圆表面入射X射线的测量点位置以及拟合函数获取第三修正值；其中，所述拟合函数用于描述测量点位置与系统误差之间的关系；将所述待测晶圆正面的X射线衍射角以及所述第一修正值、第二修正值和第三修正值获取所述待测晶圆表面校正后的衍射角；基于所述校正后的衍射角以及所述X射线的波长，获得所述待测晶圆的晶格常数。
本发明授权一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的晶格常数的获取方法，其特征在于，所述获取方法包括： 根据待测晶圆的中性面的法向与期望的单晶生长方向的夹角获取第一修正值； 根据所述待测晶圆绕中心旋转180°前、后的X射线衍射角获取第二修正值； 根据所述待测晶圆表面入射X射线的测量点位置以及拟合函数获取第三修正值；其中，所述拟合函数用于描述测量点位置与系统误差之间的关系； 将所述待测晶圆正面的X射线衍射角以及所述第一修正值、第二修正值和第三修正值获取所述待测晶圆表面校正后的衍射角； 基于所述校正后的衍射角以及所述X射线的波长，获得所述待测晶圆的晶格常数； 所述根据待测晶圆的中性面法向与期望的单晶生长方向的夹角获取第一修正值，包括： 根据所述待测晶圆的正、反面的表面形貌数据获取所述待测晶圆的中性面； 获取所述中性面的法向与所述期望的单晶生长方向之间的夹角； 将所述夹角确定为用于补偿晶圆变形的第一修正值。
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