买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利使用多个照明参数及隔离成像的多方向叠对计量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118339425B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380014759.2，技术领域涉及：G01B11/27；该发明授权使用多个照明参数及隔离成像的多方向叠对计量是由Y·瓦克宁;A·希尔;A·玛纳森设计研发完成，并于2023-04-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用多个照明参数及隔离成像的多方向叠对计量在说明书摘要公布了：一种光学计量系统可包含用于特性化样本上的叠对目标的叠对计量工具，其中所述叠对目标包含在所述样本的第一组层中的第一方向周期性特征及在所述样本的第二组层中的第二方向周期性特征。所述叠对计量工具可使用第一照明光束及第二照明光束同时照明所述叠对目标且可进一步基于所述第一照明光束及所述第二照明光束通过所述叠对目标的衍射来产生所述叠对目标的图像，其中所述第一照明光束的衍射阶促成仅所述第一方向周期性特征的经解析图像形成，且其中所述第二照明光束的衍射阶促成仅所述第二方向周期性特征的经解析图像形成。所述系统可进一步基于所述图像产生沿着第一及第二测量方向的叠对测量。

本发明授权使用多个照明参数及隔离成像的多方向叠对计量在权利要求书中公布了：1.一种光学计量系统，其包括： 叠对计量工具，其能够配置以实施用于特性化样本上的叠对目标的计量配方，其中根据所述计量配方的所述叠对目标包含在所述样本的第一组层上的第一方向周期性特征，所述第一方向周期性特征沿着第一测量方向分布，其中根据所述计量配方的所述叠对目标进一步包含在所述样本的第二组层上的第二方向周期性特征，所述第二方向周期性特征沿着不同于所述第一测量方向的第二测量方向分布，其中根据所述计量配方的所述叠对计量工具包括： 一或多个照明光学器件，其能够配置以使用一或多个第一照明光束及一或多个第二照明光束照明所述叠对目标，其中所述第一照明光束中的至少一者及所述第二照明光束中的至少一者同时入射于所述叠对目标上；及 一或多个集光光学器件，其能够配置以基于所述一或多个第一照明光束及所述一或多个第二照明光束通过所述叠对目标的衍射在一或多个检测器上产生所述叠对目标的一或多个图像，其中所述一或多个第一照明光束的衍射阶促成仅所述第一方向周期性特征的经解析图像形成，其中所述一或多个第二照明光束的衍射阶促成仅所述第二方向周期性特征的经解析图像形成；及 控制器，其通信地耦合到所述一或多个检测器，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令，从而引起所述一或多个处理器： 基于所述一或多个图像产生沿着所述第一测量方向的第一叠对测量；及 基于所述一或多个图像产生沿着所述第二测量方向的第二叠对测量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。