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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种氦质谱检漏仪以及喷氦检漏方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118010261B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311828305.7，技术领域涉及：G01M3/20；该发明授权一种氦质谱检漏仪以及喷氦检漏方法是由魏富强;郝猛;宋海燕设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氦质谱检漏仪以及喷氦检漏方法在说明书摘要公布了：本发明属于真空检漏技术领域，具体公开了一种氦质谱检漏仪以及喷氦检漏方法。在氦质谱检漏仪中，通过将机械泵的抽样口通过多个管道分别与质谱系统的第一出口、罩体的第二出口以及待测器件的第三出口连通，在控制终端将抽样信号传递至机械泵时，机械泵处于工作状态，以实现对第一出口、第二出口、第三出口以及管道内进行抽真空处理，降低氦质谱检漏仪中空气内的氦气含量，再向待测漏孔喷氦处理时，降低空气内氦气对待测漏孔漏率的影响，提高漏孔检出漏率的准确性。

本发明授权一种氦质谱检漏仪以及喷氦检漏方法在权利要求书中公布了：1.一种氦质谱检漏仪，其特征在于，包括： 质谱系统1； 喷氦组件，至少包括罩体21、通气电磁阀25、第一真空计26和储氦件22，所述罩体21用于罩设待测器件9的待检漏孔，所述通气电磁阀25安装于第一管道41、并且所述通气电磁阀25靠近罩体21一侧设置，所述通气电磁阀25与控制终端通讯连接，所述第一真空计26安装于第一管道41、并且所述第一真空计26靠近罩体21一侧设置，所述第一真空计26与控制终端通讯连接，所述储氦件22的出氦口221通过第一管道41与罩体21的第二出口211连通、用于向罩体21提供氦气； 抽真空组件，至少包括机械泵31和第三真空计35，所述机械泵31具有抽样口311，所述抽样口311通过多个管道分别与质谱系统1的第一出口101、罩体21的第二出口211以及待测器件9的第三出口901连通，所述第三真空计35靠近所述质谱系统1的第一出口101设置，预抽电磁阀33、质谱电磁阀34和所述第三真空计35均与控制终端通讯连接； 检漏组件，所述检漏组件包括第二真空计52，所述第二真空计52安装于第二管道42、并且所述第二真空计52靠近待测器件9的第三出口901设置，所述第二真空计52与控制终端通讯连接； 控制终端，所述控制终端与机械泵31通讯连接，所述控制终端用于将抽样信号传递至机械泵31以使机械泵31处于工作状态； 所述机械泵31的抽样口311通过第二管道42与待测器件9的第三出口901连通； 所述检漏组件还包括隔离电磁阀51，所述隔离电磁阀51安装于第二管道42，所述隔离电磁阀51与控制终端通讯连接； 所述第一管道41和第二管道42通过第三管道43连通； 氦质谱检漏仪还包括辅助电磁阀61，所述辅助电磁阀61安装于第三管道43，所述辅助电磁阀61与控制终端通讯连接； 所述机械泵31的抽样口311通过第四管道44与质谱系统1的第一出口101连通； 所述抽真空组件还包括分子泵32、预抽电磁阀33、质谱电磁阀34，所述分子泵32安装于第四管道44，并且所述分子泵32位于质谱系统1和机械泵31之间，所述分子泵32与控制终端通讯连接；所述预抽电磁阀33、所述质谱电磁阀34均安装于第四管道44，所述预抽电磁阀33位于分子泵32和机械泵31之间，所述质谱电磁阀34位于所述质谱系统1和分子泵32之间； 所述氦质谱检漏仪还包括并联设置的粗检电磁阀71、精检电磁阀72和超精检电磁阀73，所述粗检电磁阀71安装于第五管道45，所述粗检电磁阀71、精检电磁阀72和超精检电磁阀73均与控制终端通讯连接，所述第五管道45的一端与第二管道42连通，所述第五管道45的另一端与第四管道44连通、并且所述第五管道45的另一端位于预抽电磁阀33和机械泵31之间，所述精检电磁阀72安装于第六管道46，所述第六管道46的一端与第二管道42连通，所述第六管道46的另一端与所述第四管道44连通、并且第六管道46的另一端靠近所述分子泵32的出口设置，所述超精检电磁阀73安装于第七管道47，所述第七管道47的一端与第二管道42连通，所述第七管道47的另一端与所述第四管道44连通、并且第七管道47的另一端靠近所述分子泵32的入口设置； 其中，氦检前启动机械泵31、质谱电磁阀34、预抽电磁阀33、粗检电磁阀71、精检电磁阀72、超精检电磁阀73、辅助电磁阀61和流量计24开启，初步抽取各管道和腔室的干扰气体或杂质气体，随后启动分子泵32，进一步抽取各管路和腔室的干扰气体或杂质气体，提高氦检环境的洁净度，直至氦检环境的真空度满足需求。

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