东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司伍温良获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司申请的专利一种旋转靶材的内径校直方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117732922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311700299.7,技术领域涉及:B21D3/10;该发明授权一种旋转靶材的内径校直方法是由伍温良设计研发完成,并于2023-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转靶材的内径校直方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种旋转靶材的内径校直方法,具体是用于加工长度大于3米,纯度大于99.99%的高纯度旋转靶材的加工方法,以内径为基准先通过车床车削出两个基准部,再以基准部为旋转轴安装在校直装置上,通过测量待校部和基准部的内径之间的差值,获得管靶的弯曲数据,再通过推压机构进行校直,全程以内径为基准进行校直,无需再对内径进行镗孔,降低废料产生,降低成本,简化校直工序,缩短校直时间,提高校直效率。
本发明授权一种旋转靶材的内径校直方法在权利要求书中公布了:1.一种旋转靶材的内径校直方法,其特征在于:用于加工长度大于3米的旋转靶材,包括以下步骤, S1,确定基准步骤,将待校直的管靶1吊移至车床,以管靶1的内径为旋转轴装夹在车床上,通过车床分别车削管靶1的左右两个端部的外圆周面,得到左右两个基准部11,每一个基准部11的圆跳度控制在0.01~0.05毫米,两个基准部11之间的相对同轴度误差控制在0.01~0.05毫米,两个基准部11之间为待校部12; S2,固定步骤,将车削完成的管靶1吊移至校直装置上,校直装置包括机座2、内径测量机构3、外径测量机构4、推压机构5和两个旋转承托机构6,两个旋转承托机构6分别滑动安装于机座2,推压机构5固定安装于机座2的中部,内径测量机构3活动安装于机座2,外径测量机构4活动安装于推压机构5,将管靶1的两个基准部11分别滚动安装在两个旋转承托机构6上,以固定管靶1并使管靶1以内径为旋转轴旋转安装在校直装置上; S3,校直点确定步骤,包括以下子步骤, S3.1,标记校直点子步骤,沿管靶1的长度方向,在待校部12上分别标记至少三个校直点,各个校直点均匀间隔排布在管靶1上; S3.2,基准测量子步骤,内径测量机构3包括滑轨31、测量仪和拉绳33,测量仪滑动安装于滑轨31,拉绳33的一端与测量仪固定连接,测量仪设置有测量杆34和测量表35,测量杆34与测量表35连接,测量杆34的位移变化反应于测量表35的数值变化, 将内径测量机构3插入管靶1的内孔中,使测量仪的测量杆34的外端部抵顶管靶1的内壁,通过将测量杆34向下压一定的距离从而在测量表35上形成一对应的初始数值,同时测量杆34也形成有一定的向下的测量行程; S3.3,内径测量子步骤,抽动拉绳33将测量仪移动至各个校直点,测量杆34的外端部抵顶校直点的内壁,以基准部11的内径为转轴旋转管靶1,如基准部11与待校部12不同轴,管靶1在旋转的过程中发生偏转,使抵顶于管靶1内壁的测量杆34发生移动,从而使测量表35上的数值发生对应的变化,记录测量表35内的相对初始数值的变化幅度的差值,分别在各个校直点上获得对应的跳动值; S4,校直点和校直值确定步骤,对比各个跳动值,通过两个旋转承托机构6将跳动值最大的校直点移动至推压机构5的下方,校直值设置为最大跳动值的50±1%; S5,校直步骤,包括以下子步骤, S5.1,下压校直子步骤,旋转管靶1使校直点的最高点朝上,启动推压机构5由上至下对管靶1下压,当外径测量机构4检测到推压机构5下压一个校直值后停止下压; S5.2,校准持续校直子步骤,重复S3.3子步骤分别对各个校直点重新测量,当校直后的任意一个跳动值仍然大于精度要求范围时,重复S4步骤和S5.1子步骤,直至校直后的各个跳动值均在精度要求范围内; S6,偏心矫正步骤,将校直完成的所述管靶1吊移至车床,以基准部11的外径为基准将待校部12的偏心的一部分车削掉。
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