光驰股份有限公司隈部和哉获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰股份有限公司申请的专利基板支架输送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117431521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310901774.0，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权基板支架输送系统是由隈部和哉设计研发完成，并于2023-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支架输送系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种能提高装卸效率来增加处理量的基板支架输送系统。基板支架输送系统具备：基板支架支承体，以远离使蒸镀材料蒸发的蒸发源的方式配置，所述基板支架支承体具有支承部，所述支承部以与水平方向不同的规定的角度倾斜，并且支承对至少一个作为成膜对象的基板进行保持的至少一个基板支架；以及基板支架输送部，以维持按规定的角度倾斜的状态的方式，将基板支架装载至支承部。
本发明授权基板支架输送系统在权利要求书中公布了：1.一种基板支架输送系统，具备： 基板支架支承体，以远离使蒸镀材料蒸发的蒸发源的方式配置，所述基板支架支承体具有支承部，所述支承部以与水平方向不同的规定的角度倾斜，并且支承对至少一个作为成膜对象的基板进行保持的至少一个基板支架；以及 基板支架输送部，以维持按所述规定的角度倾斜的状态的方式，将所述基板支架装载至所述支承部，所述基板支架输送部具有柄装置和输送装置，所述柄装置抓持所述基板支架进行输送，所述输送装置输送由所述柄装置抓持的所述基板支架。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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